¿Cómo mejora el recubrimiento TaC la vida útil de los componentes de grafito? - VeTek Semiconductor

Recubrimiento de carburo de tantalum CVDse produce mediante la deposición de vapor de carburo de tantalio (TaC) sobre la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza utilizando el proceso de deposición química de vapor (CVD) patentado por VeTek Semiconductor.

Los recubrimientos de carburo tantalum (TAC) mejoran significativamente la vida útil depiezas de grafitoA través de múltiples mecanismos, especialmente en entornos de alta temperatura y altamente corrosivos, como la fabricación de semiconductores y el crecimiento de cristales. 

Aquí están las razones específicas por las queRecubrimientos TACMejorar la durabilidad de las piezas de grafito:

● Resistencia mejorada de alta temperatura

Estabilidad térmica extremadamente alta: los recubrimientos TAC pueden permanecer estables a temperaturas extremadamente altas superiores a 2000 ° C e incluso pueden funcionar de manera efectiva a 2200 ° C. Esta tolerancia a alta temperatura permite que el recubrimiento resistirá la erosión de metales fundidos y gases químicos durante la fabricación de semiconductores, extendiendo así la vida útil de las piezas de grafito.

● Excelente resistencia a la corrosión

Resistencia a la erosión química: los recubrimientos TAC tienen una fuerte resistencia a los gases corrosivos como el hidrógeno, el amoníaco y el vapor de silicio, lo que puede evitar que estos gases corroen el sustrato de grafito y reduzcan el riesgo de daño a las piezas de grafito en entornos duros. Esto significa que durante el proceso de crecimiento cristalino, el recubrimiento puede inhibir la migración de la impureza y mejorar la calidad y el rendimiento del cristal.

●  Propiedades mecánicas mejoradas

Buena adhesión y resistencia al choque térmico: los recubrimientos TAC tienen una fuerte adhesión al sustrato de grafito, asegurando que el recubrimiento no se pele ni se delamine durante las operaciones de alta temperatura. Además, su excelente resistencia al choque térmico puede soportar cambios de temperatura rápidos sin grietas ni pelar, extendiendo aún más la vida útil de las piezas de grafito.

● Reducir la contaminación por impureza

Pureza ultraalta: los recubrimientos de TaC tienen un contenido de impurezas extremadamente bajo, lo que ayuda a reducir los problemas de contaminación que pueden ocurrir en condiciones de alta temperatura. Al evitar que impurezas no deseadas migren a la capa epitaxial, los recubrimientos de TaC mejoran significativamente la pureza y la calidad del proceso de crecimiento de los cristales.

● Optimizar la gestión térmica

Mejorar la conductividad y resistividad térmica: los recubrimientos de TaC tienen una conductividad y resistividad térmica relativamente bajas, lo que permite su aplicación en calentadores y otros componentes de gestión térmica para mejorar la eficiencia energética y reducir la pérdida de energía. Esta característica no sólo mejora la eficiencia operativa, sino que también reduce la fatiga del material y los daños causados ​​por el sobrecalentamiento.