CVD SIC Cubo de grafito susceptor

CVD SIC Coating Graphite Susceptor está especialmente diseñado para la fabricación de alta precisión en la industria de semiconductores. El sustrato de grafito está recubierto con una capa SIC de alta pureza por el proceso de CVD, que tiene una excelente resistencia de alta temperatura, resistencia a la corrosión y resistencia a la oxidación, y puede funcionar de manera estable durante mucho tiempo en ambientes de alta temperatura y vacío. Este pedestal se usa ampliamente en MOCVD, PECVD, PVD y otros equipos para apoyar el procesamiento y el manejo de obleas y otros materiales de alta precisión.

Ventajas del núcleo:

● Estabilidad de alta temperatura: El grafito de alta pureza tiene una excelente estabilidad térmica. Después de estar recubierto con el recubrimiento SIC, puede soportar entornos extremos de mayor temperatura y es adecuado para procesos de alta temperatura en el procesamiento de semiconductores.

● Esquinaresistencia iónica: El recubrimiento SIC CVD es resistente a la corrosión ácida y álcali y puede tener una larga vida útil en el proceso de CVD.

● High Hresistencia a ardness y oxidación: El recubrimiento SIC CVD tiene una excelente dureza, resistencia a los arañazos y resistencia a la oxidación a altas temperaturas para mantener la estabilidad del material.

● Buena conductividad térmica: La combinación de sustrato de grafito y susceptor de recubrimiento SIC CVD hace que la base tenga una excelente conductividad térmica, lo que puede realizar un calor de manera efectiva y mejorar la eficiencia de producción.

Especificaciones del producto:

● Material: sustrato de grafito + recubrimiento SIC CVD

● Espesor de revestimiento: se puede personalizar de acuerdo con las necesidades del cliente

● Entorno aplicable: Alta temperatura, vacío, entorno de gas corrosivo

Servicio personalizado:

Brindamos servicios altamente personalizados para satisfacer las necesidades de los diferentes equipos y procesos de los clientes. Según la aplicación específica del cliente, se pueden proporcionar bases de grafito con diferentes espesores de recubrimiento, tratamientos de superficie y niveles de precisión.

Veteksemi siempre ha estado trabajando en la industria de recubrimiento de carburo de silicio CVD y tiene el nivel de producción y fabricación de la base de grafito de recubrimiento CVD SIC líder en la industria. Si necesita más información del producto o servicios personalizados, comuníquese con Vetek Semiconductor, le proporcionaremos de todo corazón soporte profesional.

Datos SEM de CVD Sic Film Structure:

Es semiconductorCVD SIC Coating Shops de productos de susceptores de grafito: