Barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal

El fabricante chino VeTek Semiconductor ofrece oblea de carburo de silicio de alta calidad para horno horizontal. Compre un bote de oblea de carburo de silicio para horno horizontal que es de alta calidad directamente de fábrica a bajo precio. El bote de oblea de carburo de silicio para horno horizontal se utiliza en tubos de horno para cargar y transferir obleas durante tratamientos de alta temperatura. Debido a las excelentes propiedades de los materiales de carburo de silicio, como la resistencia a altas temperaturas, la resistencia a la corrosión química y la estabilidad térmica, se utilizan ampliamente en diversos procesos de tratamiento térmico, como difusión, oxidación, CVD y recocido.

El barco de oblea de carburo de silicio para horno horizontal está hecho de material de carburo de silicio y tiene las siguientes características:

1. Alta dureza y resistencia al desgaste: el carburo de silicio tiene una dureza superada solo por el diamante, lo que lo hace altamente resistente al desgaste. Esto permite que las embarcaciones de carburo de silicio resistan fricciones e impactos mecánicos repetidos, lo que prolonga su vida útil.

2. Resistencia a altas temperaturas: el carburo de silicio tiene un punto de fusión de 2730 °C, lo que hace que las embarcaciones de carburo de silicio sean adecuadas para entornos de alta temperatura y diversos procesos de fabricación de semiconductores, como la oxidación y difusión a alta temperatura.

3. Bajo coeficiente de expansión térmica: el carburo de silicio tiene un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que ayuda a mantener la estabilidad dimensional a altas temperaturas, evitando la deformación del barco y afectando la precisión del procesamiento de las obleas.

4. Buena estabilidad química: el carburo de silicio es resistente a la mayoría de los productos químicos y no reacciona con soluciones ácidas y alcalinas comunes, lo que garantiza la seguridad y limpieza de las obleas.

Podemos fabricar diferentes tipos de botes tipo oblea de carburo de silicio, como botes tipo oblea horizontales, botes tipo oblea vertical y cualquier otro tipo de bote personalizado.

Utilizamos carburo de silicio recristalizado de alta pureza con los siguientes parámetros:

Aplicaciones

Los barcos de oblea de carburo de silicio para hornos horizontales encuentran amplias aplicaciones en las industrias fotovoltaica y de semiconductores:

Limpieza y grabado de obleas

Difusión y oxidación.

Galvanoplastia y grabado

Pulido Mecánico Químico (CMP)

Tratamiento térmico

Transferencia y almacenamiento de obleas.

Taller de producción de semiconductores VeTek: