Silicon Carbide Sic Wafer Boat

Veteksemicon Sic Wafer Boat es un portador central diseñado específicamente para procesos de semiconductores de alta temperatura. Utilizando el grafito presionado isostáticamente como su sustrato, este producto utiliza tecnología patentada de deposición de vapor químico para formar una capa protectora densa y no porosa de carburo de silicio en la superficie.

Esta capa combina sin problemas la excelente conductividad térmica del grafito con la resistencia de corrosión excepcional del carburo de silicio. El recubrimiento rigurosamente controlado logra un grosor de 80-120 μm, resistiendo efectivamente la corrosión de varias atmósferas ácidas y alcalinas, reduciendo significativamente el riesgo de contaminación metálica. Mantiene la estabilidad estructural y la integridad dimensional incluso en entornos de alta temperatura, proporcionando protección confiable y soporte para obleas durante procesos críticos como la oxidación, la difusión y el crecimiento epitaxial, extendiendo efectivamente la vida útil de la oblea en más de tres veces que los de los barcos de grafito convencionales.

Ⅰ. Parámetros técnicos

Ⅱ. Veteksemicon Sic Wafer Boat Boat Core Advestages

• Excelente resistencia a la corrosión

El recubrimiento SIC en el barco de obleas Veteksemicon se deposita utilizando nuestro proceso CVD patentado de alta temperatura, lo que resulta en una estructura densa y uniforme que está completamente libre de poros y grietas. Esta barrera sólida aísla efectivamente las obleas del entorno del horno. Las atmósferas oxidantes fuertes, los compuestos fluorados y otros gases corrosivos son impermeables a esta capa protectora. Esto significa que sus obleas están protegidas de la contaminación, mientras que el bote en sí permanece intacto a través de procesos extremos repetidos, extendiendo significativamente su vida útil.

• Materiales de pureza ultra altas

Entendemos que incluso la más mínima contaminación puede hacer que un lote completo de obleas sea inútil. Por lo tanto, Veteksemicon controla rigurosamente las materias primas, utilizando grafito prensado isostáticamente importado con una pureza superior al 99.9995% como sustrato. El recubrimiento SIC depositado en este sustrato también alcanza el 99.999% de pureza, con impurezas críticas como sodio, potasio, hierro y metales pesados ​​mantenidos a niveles extremadamente bajos (PPB). Esta pureza casi intrinsética asegura que no se liberen contaminantes a altas temperaturas, eliminando fundamentalmente el riesgo de degradación del rendimiento del dispositivo debido a problemas relacionados con el portador.

• Excelente estabilidad térmica

La fabricación de semiconductores requiere procesos térmicos extremadamente consistentes. El coeficiente de expansión térmica de Veteksemicon Wafer Boat está meticulosamente diseñado para igualar estrechamente el de las obleas de silicio. Durante el calentamiento y el enfriamiento rápido, el bote y la oblea se mueven en sincronización, reduciendo significativamente el riesgo de defectos de la red y deformación causada por el estrés térmico. Puede soportar temperaturas de funcionamiento continuas de hasta 1600 ℃, manteniendo una excelente resistencia mecánica y estabilidad dimensional incluso a estas altas temperaturas. Esto garantiza la repetibilidad y la confiabilidad en cada ejecución del proceso, proporcionando una base sólida para el control de tolerancia en la fabricación de chips.

• Resistencia mecánica duradera

El valor de nuestros productos se encuentra no solo en la inversión inicial sino también en el costo de propiedad a largo plazo. En comparación con los componentes tradicionales de cuarzo o grafito, los barcos Veteksemicon SIC Wafer ofrecen un desgaste excepcional y resistencia al impacto. Su alta dureza de la superficie resiste los rasguños y los escombros durante el manejo y la limpieza. Esta dureza les permite resistir fácilmente más de 200 ciclos de procesos de alta temperatura y los procedimientos de limpieza necesarios, reduciendo significativamente los costos de adquisición, los costos de inventario y el tiempo de inactividad del equipo asociado con el reemplazo de componentes frecuentes.

• Respaldo de verificación ecológica

La verificación ecológica de la cadena ecológica de Veteksemicon Sic Bafer cubre las materias primas a la producción, ha aprobado la certificación estándar internacional y tiene una serie de tecnologías patentadas para garantizar su confiabilidad y sostenibilidad en los semiconductores y los nuevos campos de energía.

Ⅲ. Campos de aplicación principales

Para obtener especificaciones técnicas detalladas, documentos blancos o arreglos de prueba de muestra, comuníquese con nuestro equipo de soporte técnico para explorar cómo Veteksemicon puede mejorar la eficiencia de su proceso.

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