Transportista de botes de obleas de alta pureza de alta pureza

VeTekSemi El portador de obleas de SiC de alta pureza es un importante componente de rodamiento utilizado en hornos de recocido, hornos de difusión y otros equipos en el proceso de fabricación de semiconductores. El transportador de barcos de oblea de SiC de alta pureza generalmente está hecho de material de carburo de silicio de alta pureza e incluye principalmente las siguientes partes:

• Cuerpo de soporte para barco: una estructura similar a un soporte, especialmente utilizado para llevarobleas de siliciou otros materiales semiconductores.

• Estructura de soporte: Su diseño de estructura de soporte le permite soportar cargas pesadas a altas temperaturas y no se deformará ni dañará durante el tratamiento a alta temperatura.

material de carburo de silicio

Propiedades físicas deCarburo de silicio recristalizado：

Si los requisitos del proceso de producción son mayores,Recubrimiento sic cvdSe puede realizar en el transportista de botes SIC Wafer de alta pureza para que la pureza alcance más del 99.99995%, mejorando aún más su alta resistencia a la temperatura.

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.:

Durante el tratamiento de alta temperatura, el transportista de botes SIC de alta pureza permite que la oblea de silicio se calienta uniformemente para evitar el sobrecalentamiento local. Además, la alta resistencia a la temperatura del material de carburo de silicio le permite mantener la estabilidad estructural a temperaturas de 1200 ° C o incluso más.

Durante el proceso de difusión o recocido, la paleta en voladizo y el transportador de oblea de SiC de alta pureza trabajan juntos. Elpaleta en voladizoLentamente empuja el transportista de botes Sic Wafer de alta pureza que transporta la oblea de silicio a la cámara del horno y lo detiene en una posición designada para su procesamiento. 

El portador de la barra de obleas SIC de alta pureza mantiene el contacto con la oblea de silicio y se fija en una posición específica durante el proceso de tratamiento térmico, mientras que la paleta en voladizo ayuda a mantener toda la estructura en la posición correcta al tiempo que garantiza la uniformidad de temperatura.

El transportador de oblea de SiC de alta pureza y la paleta en voladizo trabajan juntos para garantizar la precisión y estabilidad del proceso de alta temperatura.

Semiconductores VeTekle proporciona un portaobleas de SiC de alta pureza personalizado según sus necesidades. Esperamos su consulta.

Semiconductores VeTekShops de transporte de botes SIC de alta pureza: