Sic en voladizo paletas

Ⅰ. Descripción general del uso del producto

Las paletas de voladizo SIC se utilizan principalmente en equipos de producción de semiconductores como compatibilidad con soporte de obleas y componentes de transmisión. Su función central es procesar de manera estable y precisa obleas de silicio en condiciones de proceso extrema, como alta temperatura y alta corrosión, asegurando un proceso de producción suave y eficiente.

Ⅱ. Advantages y características de los materiales sic

SIC es un material cerámico avanzado cuyas excelentes propiedades físicas le dan una ventaja incomparable en el campo de los semiconductores. Los siguientes son los parámetros físicos clave relacionados con las paletas SIC en voladizo:

● Alta pureza: El uso de material SIC de alta pureza puede minimizar la contaminación del proceso y mejorar el rendimiento del producto.

● Excelente resistencia a alta temperatura: SIC tiene un punto de fusión de hasta 2830 ° C, lo que le permite mantener la integridad estructural en entornos de temperatura extrema, como el grabado en plasma y el recocido de alta temperatura, y la temperatura de operación a largo plazo puede alcanzar más de 1000 ° C.

● Alta dureza y resistencia al desgaste: La dureza de Mohs es 9-9.5, solo superada por el diamante, lo que da a las paletas de voladizo SIC excelente resistencia al desgaste y manteniendo la estabilidad dimensional durante la transmisión de obleas de alta frecuencia.

● Excelente conductividad térmica: La conductividad térmica de la cerámica SIC es tan alta como 120-250 w/(m · k) (valor típico), lo que puede disipar rápidamente el calor y evitar el sobrecalentamiento local que puede dañar la oblea.

● Coeficiente de expansión térmica baja: El coeficiente de expansión térmica baja (aproximadamente 4.0 × 10⁻⁶ /k) garantiza la estabilidad dimensional cuando la temperatura cambia, evita el estrés causado por la expansión y la contracción térmica, y así reduce el riesgo de daño de la oblea.

Ⅲ. Escenarios de aplicación de las paletas SIC en voladizo

Las propiedades únicas de las paletas SIC en voladizo les permiten desempeñar un papel clave en múltiples enlaces de fabricación de semiconductores:

● Equipo de grabado en plasma: En la cámara de grabado de plasma, las paletas de voladizo SIC sirven como soportes de obleas, lo que puede resistir el bombardeo de plasma y la erosión de gas corrosivo mientras mantienen la estabilidad dimensional, asegurando la precisión del grabado y la extensión de la vida del equipo.

● Equipo de deposición de película delgada (CVD/PVD): En el proceso de deposición de vapor químico (CVD) y deposición física de vapor (PVD), las paletas de voladizo SIC se utilizan para admitir obleas. Su excelente resistencia de alta temperatura y conductividad térmica ayudan a calentar uniformemente las obleas y evitar la contaminación de partículas generada durante el proceso de deposición de la película delgada.

● Sistema de transferencia de obleas: En el sistema automatizado de transferencia de obleas, las paletas SIC en voladizo pueden soportar el movimiento mecánico de alta frecuencia debido a su alta dureza y resistencia al desgaste, asegurando una transferencia precisa y rápida de obleas entre diferentes cámaras de procesos, reduciendo el riesgo de daño a la oblea y contaminación.

● Proceso de recocido a alta temperatura: En el horno de recocido de alta temperatura, las paletas de voladizo SIC pueden soportar entornos de temperatura ultra alta, proporcionar un soporte estable para las obleas y garantizar la uniformidad y la efectividad del proceso de recocido.

Veteksemicon es muy consciente de los requisitos estrictos de los procesos de semiconductores para la calidad del producto. Por lo tanto, apoyamos los servicios personalizados y podemos proporcionar el diseño y la producción personalizados de Paddlever SIC Silver de acuerdo con sus requisitos específicos de equipos y procesos. Y también controlaremos un estricto control de calidad para garantizar que cada producto sufre inspecciones estrictas de calidad para garantizar que cumpla con los más altos estándares de la industria.

Más importante aún, el equipo técnico de Vetek Semiconductor le proporcionará consultas técnicas integrales y soluciones de productos. Elegir nuestra paleta SIC en voladizo significa elegir una mayor eficiencia de producción, una vida útil de equipos más larga y un mejor rendimiento del producto. Esperamos su consulta adicional.