Horno de oxidación y difusión

● Resistencia de alta temperatura (hasta 1600 ℃)

● Excelente conductividad térmica y estabilidad térmica

● Buena resistencia a la corrosión química

● Bajo coeficiente de expansión térmica

● Alta fuerza y ​​dureza

● Larga vida útil

En hornos de oxidación y difusión, debido a la presencia de gases de alta temperatura y corrosivos, muchos componentes requieren el uso de materiales a alta temperatura y resistentes a la corrosión, entre los cuales el carburo de silicio (SIC) es una opción de uso común. Los siguientes son componentes comunes de carburo de silicio que se encuentran en hornos de oxidación y hornos de difusión:

● Barco de obleas

El bote de obleas de carburo de silicio es un recipiente utilizado para transportar obleas de silicio, que pueden soportar altas temperaturas y no reaccionará con obleas de silicio.

● Tubo de horno

El tubo del horno es el componente central del horno de difusión, utilizado para acomodar obleas de silicio y controlar el entorno de reacción. Los tubos del horno de carburo de silicio tienen un excelente rendimiento de resistencia a la alta temperatura y a alta temperatura.

● Placa de deflectación

Se utiliza para regular el flujo de aire y la distribución de temperatura dentro del horno

● Tubo de protección de termopar

Se utiliza para proteger los termopares de medición de la temperatura del contacto directo con gases corrosivos.

● Paleta en voladizo

Las paletas en voladizo de carburo de silicio son resistentes a la alta temperatura y la corrosión, y se utilizan para transportar barcos de silicio o botes de cuarzo que transportan obleas de silicio a los tubos de horno de difusión.

● Inyector de gas

Utilizado para introducir gas de reacción en el horno, debe ser resistente a la alta temperatura y la corrosión.

● Carrera de botes

El transportador de barcos de oblea de carburo de silicio se utiliza para arreglar y soportar obleas de silicio, que tienen ventajas como alta resistencia, resistencia a la corrosión y buena estabilidad estructural.

● Puerta del horno

Los recubrimientos o componentes de carburo de silicio también se pueden usar en el interior de la puerta del horno.

● Elemento de calefacción

Los elementos de calefacción de carburo de silicio son adecuados para altas temperaturas, alta potencia y pueden aumentar rápidamente las temperaturas a más de 1000 ℃.

● Liner Sic

Utilizado para proteger la pared interna de los tubos de horno, puede ayudar a reducir la pérdida de energía térmica y resistir ambientes hostiles, como alta temperatura y alta presión.