Barco de oblea recubierto de SiC CVD de alta pureza

1. ¿Factores fundamentales de rendimiento?

• Pureza en el Nivel 7N:Mantenemos un estándar de pureza del 99,99999% (7N). Esto no es negociable para evitar que los contaminantes metálicos migren a la oblea durante largos pasos de penetración u oxidación.
• El sello CVD (50–300μm):No sólo "pintamos" la superficie. Nuestra capa CVD SiC de 50–300 μm crea un sello total sobre el sustrato. Esto elimina la porosidad, lo que significa que la embarcación no atrapará productos químicos ni desprenderá partículas incluso después de una exposición repetida a gases reactivos o una limpieza agresiva con SPM/DHF.
• Rigidez térmica:La baja expansión térmica natural del carburo de silicio mantiene estos barcos rectos. No se doblarán ni girarán durante el recocido térmico rápido (RTA), lo que garantiza que el brazo del robot siempre llegue a la ranura correcta sin atascarse.
• Rendimientos sostenidos:La superficie está diseñada para una baja adhesión de subproductos. Menos acumulación significa que menos partículas golpean las obleas y más ciclos entre ciclos de limpieza en banco húmedo.
• Geometría personalizada:Cada fábrica tiene su propia configuración. Los mecanizamos según sus planos de paso y ranura específicos, ya sea que esté ejecutando un horno horizontal o una línea automatizada vertical de 300 mm.

2. Compatibilidad de procesos

• Atmósfera:Resistente a ambientes de TMGa, AsH₃ y O₂ de alta concentración.
• Rango Térmico:Funcionamiento estable a largo plazo hasta 1400°C.
• Materiales:Diseñado específicamente para procesos de oxidación y difusión de obleas lógicas, de potencia y analógicas.