Obturador y escudo de cuarzo opaco de alta pureza para MOCVD

1. Especificaciones técnicas

Proporcionamos mecanizado de alta precisión basado en sus dibujos técnicos para garantizar un ajuste perfecto con sus modelos de equipos específicos.

2. Campos de aplicación principales

● Protección de procesos MOCVD: Sirven como escudos/revestimientos internos esenciales para proteger el entorno de reacción.

● Epitaxia de semiconductores: Se utilizan como obturadores de alta precisión para la estabilización del flujo y la temperatura durante el crecimiento de películas delgadas.

● Fabricación de semiconductores de banda ancha: Compatible con entornos de alta demanda para GaN y otros materiales avanzados.

3. ¿Por qué elegir las soluciones de cuarzo VETEK?

● Gestión superior de la radiación térmica: Nuestro cuarzo blanco lechoso contiene una alta densidad de microburbujas que dispersan y bloquean eficazmente la radiación térmica de alta temperatura (>1000°C). Absorbe la luz visible y del infrarrojo cercano de los elementos calefactores y la convierte en radiación de infrarrojo lejano, garantizando un calentamiento muy uniforme.
● Control de contaminación y fácil mantenimiento: Como revestimiento interior de sacrificio o reemplazable, el Quartz Shield mantiene limpia la cámara de reacción evitando la deposición de subproductos en las costosas paredes y calentadores de la cámara. Estas piezas pueden regenerarse mediante limpieza húmeda (como soluciones SPM+DHF) o reemplazarse fácilmente para garantizar altos rendimientos de obleas.
● Resistencia química extrema: El cuarzo VETEK está diseñado para resistir ciclos térmicos frecuentes y resistir la corrosión de compuestos orgánicos metálicos (como TMGa) e hidruros (como AsH₃).
● Control de procesos de precisión: Nuestras contraventanas de cuarzo mantienen una alta estabilidad dimensional bajo calentamiento por infrarrojos o filamentos. Su baja inercia térmica permite una respuesta mecánica rápida, lo que permite un control preciso del crecimiento a "nivel atómico" y evita la contaminación cruzada durante la conmutación de múltiples obleas o múltiples procesos.
● Alternativa rentable: Para proyectos con requisitos presupuestarios estrictos, nuestros productos de cuarzo proporcionan un punto de entrada confiable en comparación con el grafito recubierto, ofreciendo protección y funcionalidad esenciales para los sistemas MOCVD.