Part de repuesto de recubrimiento TAC

Es semiconductorPlaca de recubrimiento TACes un material especial ampliamente utilizado en elsemiconductorproceso de fabricación. Combinado con su alta dureza y resistencia al desgaste, una alta resistencia a la temperatura, resistencia a la corrosión, un coeficiente de baja fricción y una buena conductividad térmica, la placa de recubrimiento de TAC juega un papel irremplazable en muchos enlaces del procesamiento de semiconductores.

En general, las aplicaciones dePlacas recubiertas de TACEn el procesamiento de semiconductores son los siguientes:

● Sustrato de crecimiento CVD/ALD: La alta resistencia a la temperatura, la estabilidad química y el coeficiente de baja fricción de las placas recubiertas de TAC los convierten en sustratos ideales de crecimiento CVD/ALD. Puede proporcionar un entorno de crecimiento estable para garantizar la uniformidad y la densidad de la película.

●  Placa de máscara de grabado: La alta dureza y la resistencia a la corrosión de las placas recubiertas de TAC les permiten resistir procesos de alta energía, como el grabado en plasma, como placas de máscara de grabado, protegiendo la película subyacente.

●  Plataforma de pulido CMP: La resistencia al desgaste y el coeficiente de baja fricción de las placas recubiertas de TAC los convierten en materiales ideales para almohadillas de pulido CMP, que pueden eliminar efectivamente partículas y defectos en la superficie de la película.

●  Tubo de horno de alta temperatura: La alta resistencia a la temperatura y la resistencia a la corrosión de las placas recubiertas de TAC les permiten usarse como tubos de horno en hornos de alta temperatura para recocido, difusión y otros procesos de alta temperatura.

Parámetros técnicos de recubrimiento CVD TAC：

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