Placa de recubrimiento TAC
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Placa de recubrimiento TAC

Diseñada con precisión y diseñada a la perfección, la placa de recubrimiento TAC del semiconductor de Vetek se adapta específicamente a diversas aplicaciones en los procesos de crecimiento de un solo cristal de carburo de silicio (sic). Las dimensiones precisas de la placa de recubrimiento de TAC y la construcción robusta hacen que sea fácil de integrar en los sistemas existentes, asegurando una compatibilidad sin costos y una operación eficiente. Su rendimiento confiable y su recubrimiento de alta calidad contribuyen a resultados consistentes y uniformes en aplicaciones de crecimiento de cristal SIC. Estamos comprometidos a proporcionar productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.

Como fabricante y proveedor líder de placas de recubrimiento de TAC, la placa de recubrimiento TAC de semiconductores Vetek funciona como parte clave deReactor de epitaxia semiconductora, que ayuda a un excelente rendimiento de la capa epitaxial y la eficiencia del crecimiento y a mejorar la calidad del producto. Puede estar seguro de comprar una placa de recubrimiento TAC de nuestra fábrica.


Para la producción de nuevos semiconductores con entornos de preparación cada vez más duros y más duros, como la preparación de la tercera hoja epitaxial de nitruro de nitruro (GaN) por metal-vapor químico orgánico (MOCVD), y la preparación de las películas de crecimiento epitaxial de SIC por deposición de vapor químico (CVD) están edificados por gases como H como H como H como H como H como H como H como H como H como H como H2y nh3en entornos de alta temperatura. Las capas protectoras SIC y BN en la superficie de los portadores de crecimiento existentes o los canales de gas pueden fallar debido a su participación en las reacciones químicas, lo que afecta negativamente la calidad de productos como cristales y semiconductores. 


Por lo tanto, es necesario encontrar un material con mejor estabilidad química y resistencia a la corrosión como una capa protectora para mejorar la calidad de los cristales, semiconductores y otros productos. El carburo de Tantalum tiene excelentes propiedades físicas y químicas, debido al papel de los enlaces químicos fuertes, su estabilidad química de alta temperatura y la resistencia a la corrosión es mucho más alta que SIC, BN, etc., es una gran perspectiva de aplicación de resistencia a la corrosión, estabilidad térmica sobresaliente.


Vetek Semiconductor tiene equipos de producción avanzados y un sistema de gestión de calidad perfecto, un estricto control de procesos para garantizar queRecubrimiento TACEn lotes de consistencia del rendimiento, la compañía tiene capacidad de producción a gran escala, para satisfacer las necesidades de los clientes en grandes cantidades de suministro, mecanismo de monitoreo de calidad perfecto para garantizar la calidad de cada producto estable y confiable.


Recubrimiento de carburo tantalum en una sección transversal microscópica:

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section


Parámetro básico del producto de la placa de recubrimiento TAC:

Propiedades físicas del recubrimiento TAC
Densidad de recubrimiento 14.3 (g/cm³)
Emisividad específica 0.3
Coeficiente de expansión térmica 6.3*10-6/K
Dureza de recubrimiento TAC (HK) 2000 HK
Resistencia 1 × 10-5 ohm*cm
Estabilidad térmica <2500 ℃
Cambios de tamaño de grafito -10 ~ -20um
Espesor de revestimiento ≥20um valor típico (35um ± 10um)


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