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Portador de grabado ICP recubierto de SIC
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Portador de grabado ICP recubierto de SIC

El portador de grabado ICP recubierto de Veteksemicon SIC está diseñado para las aplicaciones de equipos de epitaxia más exigentes. Hecho de material de grafito ultra puro de alta calidad, nuestro portador de grabado ICP recubierto de SIC tiene una superficie altamente plana y una excelente resistencia a la corrosión para resistir las duras condiciones durante el manejo. La alta conductividad térmica del portador recubierto de SIC garantiza una distribución incluso de calor para excelentes resultados de grabado.

Con años de experiencia en el portador de grabado ICP recubierto de SIC, el semiconductor Vetek puede suministrar una amplia gama deSic recubiertooTAC recubiertoPiezas de repuesto para la industria de semiconductores. Además de la lista de productos a continuación, también puede personalizar sus propias piezas únicas recubiertas de SIC o recubiertas de TAC de acuerdo con sus necesidades específicas.


El portador de grabado ICP recubierto de SIC de Vetek Semiconductor, también conocido como portadores de ICP, portadores de PSS, portadores RTP o portadores RTP, son componentes importantes utilizados en una variedad de aplicaciones en la industria de semiconductores. El grafito recubierto de carburo de silicio es el material principal utilizado para fabricar estos portadores actuales. Tiene una alta conductividad térmica, más de 10 veces la conductividad térmica del sustrato de zafiro. Esta propiedad, combinada con su alta resistencia al campo eléctrico de rodillo y su densidad de corriente máxima, ha provocado la exploración del carburo de silicio como un reemplazo potencial para el silicio en una variedad de aplicaciones, particularmente en componentes de alta potencia semiconductores. Las placas portador de corriente de SIC tienen una alta conductividad térmica, lo que las hace ideales paraProcesos de fabricación LED. 


Aseguran una disipación de calor eficiente y proporcionan una excelente conductividad eléctrica, contribuyendo a la producción de LED de alta potencia. Además, estas placas portador tienen excelentesresistencia al plasmay una larga vida útil, asegurando un rendimiento y vida confiables en el exigente entorno de fabricación de semiconductores.


Veteksemicon ha establecido relaciones cooperativas a largo plazo con muchos fabricantes de semiconductores. También esperamos construir una asociación a largo plazo con usted.


Parámetro del producto del portador de grabado ICP recubierto de SIC:

Propiedades físicas básicas deRecubrimiento sic cvd
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad 3.21 g/cm³
Dureza 2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano 2 ~ 10 mm
Pureza química 99.99995%
Capacidad de calor 640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE) 4.5 × 10-6k-1


Es semiconductorPortador de grabado ICP recubierto de SICTienda de producción

VeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier Production Shop


Descripción general de la cadena industrial de epitaxia de chip de semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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