Placa de rotación de recubrimiento TAC

La placa de rotación de recubrimiento TAC del semiconductor de Vetek tiene una composición de alta pureza, un contenido de impureza de menos de 5ppm y una estructura densa y uniforme, que se usa ampliamente en sistemas LPE EPI, sistemas AixTron, sistemas nuflare, sistemas Tel CVD, sistemas VEECO, sistemas TSI.

● Excelentes propiedades mecánicas:

Dureza de recubrimiento de hasta 2300 HV, con excelente resistencia al desgaste.

La adhesión entre el recubrimiento y el sustrato es fuerte, y no es fácil caer o pelar.

El recubrimiento aún puede mantener una buena estabilidad estructural a alta temperatura.

●  Excelente resistencia a la corrosión:

El material TAC en sí tiene una excelente estabilidad química y resistencia a la corrosión.

Los recubrimientos de los semiconductores de Vetek funcionan bien en una variedad de entornos de gas agresivos.

Puede proteger efectivamente los componentes internos del equipo del daño por corrosión.

● Acabado de superficie alto:

Vetek Semiconductor utiliza un proceso de recubrimiento preciso para producir el acabado deseado.

La baja rugosidad de la superficie ayuda a reducir la acumulación y deposición de partículas.

● La consistencia de recubrimiento es buena:

Vetek Semiconductor tiene un sistema de control de calidad de sonido para garantizar un rendimiento constante entre los lotes.

El grosor de recubrimiento se distribuye uniformemente y no hay defectos locales obvios.

● Excelente rendimiento práctico de la aplicación:

El recubrimiento TAC del semiconductor de Vetek se usa ampliamente en muchos fabricantes de equipos epitaxiales conocidos en el hogar y en el extranjero.

Parámetro físico del producto de la placa de rotación recubierta de TAC:

Recubrimiento de carburo tantalum en una sección transversal microscópica