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Análisis en profundidad de las causas del amarillamiento y descamación de los bordes del recubrimiento de carburo de silicio en susceptores de grafito epitaxia MOCVD. VeTek eliminó el microestrés al controlar con precisión la tasa de deposición inicial de CVD y el campo de flujo, aumentando el rendimiento del recubrimiento del 50% al 90% y extendiendo la vida útil de las piezas de grafito de alta pureza.

Al abordar la variación del espesor de bolsillo a bolsillo del 1,4 % en susceptores de grafito epitaxia de silicio de múltiples bolsillos, VeTek Semi mejoró la planitud del susceptor a <0,08 mm y redujo la variación al 0,69 % mediante simulación de campo de flujo CVD y recubrimiento de SiC de ultraprecisión, lo que aumentó el rendimiento de la oblea.

Descubra cómo Vetek eliminó el agrietamiento radial en susceptores de grafito recubiertos de SiC MOCVD de gran tamaño. El rediseño del amortiguador de tensión estructural y la combinación de CTE aumentaron la vida útil en más de un 300%.