Recubrimiento de carburo de silicio

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultra puro, estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro de recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento de SiC	3,21 g/cm³
Recubrimiento de SiCDureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m^-1·k^-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K^-1

ESTRUCTURA CRISTALINA DE PELÍCULA CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi recubierto de carburo de silicio Portador de oblea con revestimiento de SiC Cubierta de satélite recubierta de SiC para MOCVD Susceptor Epi de oblea con revestimiento de SiC CVD Elemento calefactor con revestimiento CVD SiC Portaobleas Aixtron Satellite Receptor Epi con revestimiento de SiC Piezas de grafito en forma de media luna con revestimiento de SiC

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Proceso de deposición de vapor químico anillo de borde sic sólido

El semiconductor Vetek siempre se ha comprometido con la investigación y el desarrollo y la fabricación de materiales semiconductores avanzados. Hoy, el semiconductor Vetek ha logrado un gran progreso en el proceso de deposición de vapor químico en productos de anillo de borde sic sic y puede proporcionar a los clientes anillos de borde sic sólidos altamente personalizados. Los anillos de borde SiC sólido proporcionan una mejor uniformidad de grabado y un posicionamiento preciso de la oblea cuando se usan con un chuck electrostático, asegurando resultados de grabado consistentes y confiables. Esperamos su consulta y convirtiéndose en los socios a largo plazo del otro.

Ver más >> Enviar Consulta >>

Anillo de enfoque de grabado de SiC sólido

El anillo de enfoque de grabado SIC sólido es uno de los componentes centrales del proceso de grabado de la oblea, que juega un papel en la fijación de la oblea, enfoque el plasma y la mejora de la uniformidad de grabado de la oblea. Como el principal fabricante de anillos de enfoque SIC en China, Vetek Semiconductor tiene tecnología avanzada y procesos maduros, y fabrica un anillo de enfoque de grabado SIC sólido que satisface completamente las necesidades de los clientes finales de acuerdo con los requisitos del cliente. Esperamos con ansias su consulta y convirtiéndonos en los socios a largo plazo del otro.

Ver más >> Enviar Consulta >>

Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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