Recubrimiento de carburo de tantalio

VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.

Los principales productos sonAnillo guía recubierto de TaC, Anillo guía de tres pétalos recubierto de CVD TaC, Media luna recubierta de TaC de carburo de tantalio, Susceptor epitaxial planetario de SiC con revestimiento CVD TaC, Anillo de recubrimiento de carburo de tantalio, Grafito poroso recubierto de carburo de tantalio, Susceptor de rotación de recubrimiento TaC, Anillo de carburo de tantalio, Placa de rotación de recubrimiento TaC, Susceptor de oblea recubierta de TaC, Anillo deflector recubierto de TaC, Cubierta de revestimiento CVD TaC, Mandril recubierto de TaCetc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.

El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:

Excellent properties of TaC coating graphite

El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.

Características clave:

●Estabilidad de temperatura

●Pureza ultraalta

●Resistencia a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistencia al stock térmico.

●Fuerte adherencia al grafito.

●Cobertura de revestimiento conformado

● Tamaño hasta 750 mm de diámetro (El único fabricante en China alcanza este tamaño)

Aplicaciones:

●Portador de oblea

● Susceptor de calentamiento inductivo

● Elemento calefactor resistivo

●Disco satelital

●cabezal de ducha

●Anillo guía

●Receptor LED Epi

●Boquilla de inyección

●anillo de enmascaramiento

● Escudo térmico

Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad	14,3 (g/cm³)
Emisividad específica	0.3
Coeficiente de expansión térmica	6.3 10^-6/K
Dureza (HK)	2000 Hong Kong
Resistencia	1×10^-5Ohmios*cm
Estabilidad térmica	<2500℃
Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
Espesor del recubrimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Datos EDX del recubrimiento TaC：

EDX data of TaC coating

Datos de la estructura cristalina del recubrimiento TaC:

Elemento	Porcentaje atómico
	pt. 1	pt. 2	pt. 3	Promedio
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
A ellos	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandril de recubrimiento TaC Disco planetario con revestimiento de TaC
Placa recubierta de TaC Placa de rotación de recubrimiento TaC Receptor de recubrimiento TaC Cubierta de recubrimiento CVD TaC Anillo de recubrimiento CVD TaC Placa de revestimiento TaC

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LED EPI

Vetek Semiconductor es un proveedor líder de recubrimientos TAC y piezas de grafito de recubrimiento SIC. Nos especializamos en la producción de susceptores EPI LED de vanguardia, esenciales para los procesos de epitaxia LED. Esperamos su consulta adicional.

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Susceptor MOCVD con revestimiento TaC

Vetek Semiconductor es un proveedor integral involucrado en la investigación, desarrollo, producción, diseño y ventas de recubrimientos TAC y piezas de recubrimiento SIC. Nuestra experiencia radica en la producción de susceptor MOCVD de vanguardia con el recubrimiento TAC, que juega un papel vital en el proceso de epitaxia LED. Le damos la bienvenida para discutir con nosotros las consultas y más información.

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Susceptor LED de UV profundo recubierto de TAC

El recubrimiento TaC es un recubrimiento de nueva generación desarrollado para entornos hostiles. VeTek Semiconductor es un proveedor integrado dedicado a la investigación y el desarrollo, la producción, el diseño y la venta de recubrimientos TaC. Nos especializamos en la fabricación de susceptores LED UV recubiertos con TaC de vanguardia, que son componentes cruciales en el proceso de epitaxia LED. Nuestro susceptor LED UV profundo recubierto con TaC ofrece alta conductividad térmica, alta resistencia mecánica, eficiencia de producción mejorada y protección de oblea epitaxial. Bienvenido a consultarnos.

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Media luna recubierta de TaC de carburo de tantalio

Las piezas de media luna recubiertas con revestimiento CVD TaC son más duraderas que las piezas de media luna recubiertas de SiC. VeTek Semiconductor es el fabricante y proveedor líder en China de media luna recubierta de carburo de tantalio con TaC, nos especializamos en I + D y producción, podemos controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. precio. Le invitamos a visitar nuestra fábrica para seguir discutiendo sobre una cooperación a largo plazo.

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Anillo de tres pétal con recubrimiento de TAC

Vetek Semiconductor es un fabricante e innovador de anillos de tres pátales recubierto de TAC en China. Hemos sido especializados en recubrimiento TAC y SIC durante muchos años. Nuestros productos tienen resistencia a la corrosión, alta fuerza. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China. Asegurado para consultar en cualquier momento.

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Tantalum Carbide Coated Chuck

Vetek Semiconductor es un fabricante e innovador de Chuck recubierto de carburo tantalum líder en China. Hemos sido especializados en el recubrimiento de TAC durante muchos años. Nuestros productos tienen una alta pureza y resistencia a la alta temperatura de hasta 2000. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de tantalio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de tantalio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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Recubrimiento de carburo de tantalio

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Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:

Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:

Datos EDX del recubrimiento TaC：

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