Recubrimiento de carburo de tantalio

VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.

Los principales productos sonAnillo guía recubierto de TaC, Anillo guía de tres pétalos recubierto de CVD TaC, Media luna recubierta de TaC de carburo de tantalio, Susceptor epitaxial planetario de SiC con revestimiento CVD TaC, Anillo de recubrimiento de carburo de tantalio, Grafito poroso recubierto de carburo de tantalio, Susceptor de rotación de recubrimiento TaC, Anillo de carburo de tantalio, Placa de rotación de recubrimiento TaC, Susceptor de oblea recubierta de TaC, Anillo deflector recubierto de TaC, Cubierta de revestimiento CVD TaC, Mandril recubierto de TaCetc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.

El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:

Excellent properties of TaC coating graphite

El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.

Características clave:

●Estabilidad de temperatura

●Pureza ultraalta

●Resistencia a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistencia al stock térmico.

●Fuerte adherencia al grafito.

●Cobertura de revestimiento conformado

● Tamaño hasta 750 mm de diámetro (El único fabricante en China alcanza este tamaño)

Aplicaciones:

●Portador de oblea

● Susceptor de calentamiento inductivo

● Elemento calefactor resistivo

●Disco satelital

●cabezal de ducha

●Anillo guía

●Receptor LED Epi

●Boquilla de inyección

●anillo de enmascaramiento

● Escudo térmico

Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad	14,3 (g/cm³)
Emisividad específica	0.3
Coeficiente de expansión térmica	6.3 10^-6/K
Dureza (HK)	2000 Hong Kong
Resistencia	1×10^-5Ohmios*cm
Estabilidad térmica	<2500℃
Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
Espesor del recubrimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Datos EDX del recubrimiento TaC：

EDX data of TaC coating

Datos de la estructura cristalina del recubrimiento TaC:

Elemento	Porcentaje atómico
	pt. 1	pt. 2	pt. 3	Promedio
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
A ellos	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandril de recubrimiento TaC Disco planetario con revestimiento de TaC
Placa recubierta de TaC Placa de rotación de recubrimiento TaC Receptor de recubrimiento TaC Cubierta de recubrimiento CVD TaC Anillo de recubrimiento CVD TaC Placa de revestimiento TaC

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Grafito poroso con TAC recubierto

El grafito poroso con TAC recubierto es un material de procesamiento de semiconductores avanzado proporcionado por Vetek Semiconductor. El grafito poroso con recubierto de TAC combina las ventajas del recubrimiento poroso de grafito y carburo tantalum (TAC), con buena conductividad térmica y permeabilidad al gas. Vetek Semiconductor se compromete a proporcionar productos de calidad a precios competitivos.

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Cubierta de recubrimiento de carburo tantalum

La cubierta de recubrimiento de carburo tantalum está compuesta de grafito de alta pureza y recubrimiento TAC. Vetek Semiconductor es un proveedor líder y fabricante de la cubierta de recubrimiento de carburo Tantalum en China. Nos centramos en proporcionar productos de carburo tantalum resistentes a la alta y alta temperatura. Nuestra cubierta recubierta de carburo Tantalum tiene un excelente rendimiento y confiabilidad, y puede proteger efectivamente los materiales en entornos de temperatura y corrosivos extremadamente altos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China. Bienvenido para consultar en cualquier momento.

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Anillo deflector recubierto de TAC

El anillo de deflector recubierto de TAC de Vetek Semiconductor es un componente altamente especializado diseñado para procesos de crecimiento de cristal SIC. El recubrimiento TAC proporciona una excelente resistencia a la temperatura y una inercia química para hacer frente a las altas temperaturas y los ambientes corrosivos durante el proceso de crecimiento de los cristales. Esto garantiza un rendimiento estable y una larga vida útil del componente, reduciendo la frecuencia de reemplazo y tiempo de inactividad. Estamos comprometidos a proporcionar productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China. Aprendida para consultar en cualquier momento.

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Tubo recubierto de carburo tantalum para el crecimiento de cristales

El tubo recubierto de carburo tantalum para el crecimiento de los cristales se usa principalmente en el proceso de crecimiento de cristal SIC. El semiconductor de Vetek ha estado suministrando un tubo recubierto de carburo tantalum para el crecimiento de los cristales durante muchos años y ha estado trabajando en el campo del recubrimiento de TAC durante muchos años. Nuestros productos tienen una alta pureza y alta resistencia a la temperatura. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China. No dude en preguntarnos.

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Anillo recubierto de TaC para reactor epitaxial de SiC

Vetek Semiconductor es un fabricante líder e innovador tecnológico del anillo recubierto de TAC para el reactor epitaxial SIC en China, centrándose en proporcionar soluciones de alto rendimiento para reactores epitaxiales SIC. Tenemos muchos años de experiencia en tecnología de recubrimiento TAC. El anillo recubierto de TAC tiene las características de alta pureza, alta estabilidad, excelente resistencia a la corrosión, etc., y puede proporcionar un rendimiento estable a largo plazo en el duro entorno de trabajo de los reactores epitaxiales. Esperamos establecer una asociación estratégica a largo plazo con usted.

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Pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE

VeTek Semiconductor es un proveedor líder de piezas de media luna recubiertas de carburo de tantalio para LPE en China y se centra en la tecnología de recubrimiento TaC durante muchos años. Nuestra pieza de media luna recubierta de carburo de tantalio para LPE está diseñada para el proceso de epitaxia en fase líquida y puede soportar altas temperaturas de más de 2000 grados Celsius. Con un excelente rendimiento de materiales e innovación de procesos, la vida útil de nuestros productos se encuentra en el nivel líder en la industria. VeTek Semiconductor espera ser su socio a largo plazo en China.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de tantalio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de tantalio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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Recubrimiento de carburo de tantalio

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