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Media luna recubierta de TaC de carburo de tantalio
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Media luna recubierta de TaC de carburo de tantalio

Las piezas de media luna recubiertas con revestimiento CVD TaC son más duraderas que las piezas de media luna recubiertas de SiC. VeTek Semiconductor es el fabricante y proveedor líder en China de media luna recubierta de carburo de tantalio con TaC, nos especializamos en I + D y producción, podemos controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. precio. Le invitamos a visitar nuestra fábrica para seguir discutiendo sobre una cooperación a largo plazo.

Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional de media luna recubierto de China Tantalum Carbide TAC. Vetek Semiconductor ofrece media luna recubierta de carburo Tantalum TAC, que desempeña un papel de apoyo y transporte en el proceso epitaxial de carburo de silicio, no solo admite el sustrato, sino que también proporciona una base plana, lo que permite que la epitaxia crezca uniformemente en él.

La calidad y el rendimiento de la parte de media luna afectan directamente la calidad y el rendimiento de la oblea durante el proceso epitaxial de carburo de silicio. Por lo tanto, diseñar y seleccionar la parte de media luna apropiada es crucial para el éxito del proceso epitaxial SIC. La media luna recubierta de Tacuro Tantalum hecha por el semiconductor Vetek puede mejorar su alta resistencia a la temperatura, resistencia a la corrosión y resistencia al desgaste, mejorando en gran medida la estabilidad y la vida útil del componente de media luna durante el proceso de crecimiento.


Parámetro del recubrimiento de carburo tantalum:

Propiedades físicas del recubrimiento TAC
Densidad 14,3 (g/cm³)
Emisividad específica 0.3
Coeficiente de expansión térmica 6,3×10-6/K
Dureza (HK) 2000 Hong Kong
Resistencia 1 × 10-5Ohmios*cm
Estabilidad térmica <2500℃
Cambios de tamaño de grafito -10 ~ -20um
Espesor de revestimiento ≥20um valor típico (35um ± 10um)


Ventajas de nuestra media luna recubierta de Tantalum Carbide TAC:

1. Resistencia a la temperatura alta

2. Resistencia a la corrosión alta

3. Alta dureza y resistencia al desgaste.

4. Buena conductividad térmica

5. Buena inercia química


Taller de producción de semiconductores VeTek:

VeTek Semiconductor Production Shop


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