Anillo de tres pétal con recubrimiento de TAC

Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor profesional de anillos de tres pétal con recubrimiento de China TAC. El anillo de tres pátulas recubierto de TAC se utiliza en el sistema de deposición de AixTron G10 para el semiconductor compuesto, G10-Gane 150/200 mm de alto rendimiento Epitaxy para Gan Power & RF aplicaciones.

El recubrimiento TAC de semiconductores Vetek es una nueva generación de material resistente a la temperatura alta, con una mejor estabilidad de alta temperatura que SIC, como un recubrimiento resistente a la corrosión, el recubrimiento resistente a la oxidación, el recubrimiento resistente al desgaste, se puede usar en el entorno superior a 2000 ℃, ampliamente utilizado en Partes de extremo caliente aeroespacial de temperatura ultra alta, la tercera generación de crecimiento de un solo cristal de semiconductores y otros campos.

Características del producto:

1. Alta pureza, contenido de impureza <5ppm

2. Resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, alta densidad, alta densidad

3. Es químicamente inerte al amoníaco, hidrógeno, silano y silicio a alta temperatura y tiene una buena estabilidad térmica.

4. Resistencia al choque térmico, puede acelerar el ciclo de operación

5. La fuerte adhesión de grafito garantiza una larga vida útil y sin delaminación de recubrimiento.

6. Tolerancias dimensionales estrictas.

Aplicaciones principales:

1. Crecimiento epitaxial

2. Crecimiento monocristalino

3. Diversión de corrosión de alta temperatura

4. Boquilla resistente a altas temperaturas y oxidación.

5. Hojas de turbina de gas

Parámetro del producto del anillo de tres pétal recubierto de TAC

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