Recubrimiento de carburo de tantalio

VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.

Los principales productos sonAnillo guía recubierto de TaC, Anillo guía de tres pétalos recubierto de CVD TaC, Media luna recubierta de TaC de carburo de tantalio, Susceptor epitaxial planetario de SiC con revestimiento CVD TaC, Anillo de recubrimiento de carburo de tantalio, Grafito poroso recubierto de carburo de tantalio, Susceptor de rotación de recubrimiento TaC, Anillo de carburo de tantalio, Placa de rotación de recubrimiento TaC, Susceptor de oblea recubierta de TaC, Anillo deflector recubierto de TaC, Cubierta de revestimiento CVD TaC, Mandril recubierto de TaCetc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.

El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:

Excellent properties of TaC coating graphite

El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.

Características clave:

●Estabilidad de temperatura

●Pureza ultraalta

●Resistencia a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistencia al stock térmico.

●Fuerte adherencia al grafito.

●Cobertura de revestimiento conformado

● Tamaño hasta 750 mm de diámetro (El único fabricante en China alcanza este tamaño)

Aplicaciones:

●Portador de oblea

● Susceptor de calentamiento inductivo

● Elemento calefactor resistivo

●Disco satelital

●cabezal de ducha

●Anillo guía

●Receptor LED Epi

●Boquilla de inyección

●anillo de enmascaramiento

● Escudo térmico

Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad	14,3 (g/cm³)
Emisividad específica	0.3
Coeficiente de expansión térmica	6.3 10^-6/K
Dureza (HK)	2000 Hong Kong
Resistencia	1×10^-5Ohmios*cm
Estabilidad térmica	<2500℃
Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
Espesor del recubrimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Datos EDX del recubrimiento TaC：

EDX data of TaC coating

Datos de la estructura cristalina del recubrimiento TaC:

Elemento	Porcentaje atómico
	pt. 1	pt. 2	pt. 3	Promedio
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
A ellos	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandril de recubrimiento TaC Disco planetario con revestimiento de TaC
Placa recubierta de TaC Placa de rotación de recubrimiento TaC Receptor de recubrimiento TaC Cubierta de recubrimiento CVD TaC Anillo de recubrimiento CVD TaC Placa de revestimiento TaC

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Anillo recubierto de carburo tantalum

Como innovador profesional y líder de los productos de anillo recubiertos con carburo de Tantalum en China, el anillo recubierto de carburo tantalum de semiconductores vetek juega un papel irremplazable en el crecimiento del cristal SiC con su excelente resistencia a la temperatura, resistencia al desgaste y una excelente conductividad térmica. Dé la bienvenida a su consulta adicional.

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Carburo tantalum poroso

Vetek Semiconductor es un fabricante profesional y líder de productos poros de carburo tantalum en China. El carburo de tántalo poroso generalmente se fabrica mediante el método de deposición de vapor químico (CVD), asegurando un control preciso del tamaño y distribución de su poro, y es una herramienta de material dedicada a entornos extremos de alta temperatura. Dé la bienvenida a su consulta adicional.

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Anillo guía de recubrimiento TaC

El anillo de la guía de recubrimiento TAC del semiconductor de Vetek se crea aplicando el recubrimiento de carburo Tantalum en piezas de grafito utilizando una técnica altamente avanzada llamada deposición de vapor químico (CVD). Este método está bien establecido y ofrece propiedades de recubrimiento excepcionales. Al utilizar el anillo de la guía de recubrimiento TAC, la vida útil de los componentes de grafito se puede extender significativamente, el movimiento de las impurezas de grafito se puede suprimir y la calidad de cristal único SIC y AIN se puede mantener de manera confiable. Bienvenido a Invirys.

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Anillo de carburo tantalum

Como fabricante avanzado y productor de productos de anillo de carburo Tantalum en China, el anillo de carburo de Tantalum de semiconductores Vetek tiene una dureza extremadamente alta, resistencia al desgaste, resistencia a alta temperatura y estabilidad química, y se usa ampliamente en el campo de fabricación de semiconductores. Especialmente en CVD, PVD, proceso de implantación de iones, proceso de grabado y procesamiento y transporte de obleas, es un producto indispensable para el procesamiento y fabricación de semiconductores. Esperamos su consulta adicional.

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Soporte de recubrimiento de carburo tantalum

Como soporte profesional de productos de recubrimiento de carburo tantalum y fábrica de productos en China, el soporte de recubrimiento de carburo de tantalum de semiconductores Vetek se usa generalmente para el recubrimiento superficial de componentes estructurales o componentes de soporte en equipos semiconductores, especialmente para la protección de la superficie de los componentes clave del equipo en los procesos de fabricación de semiconductores como CVD y PVD. Dé la bienvenida a su consulta adicional.

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Anillo de guía de carburo tantalum

Vetek Semiconductor es un fabricante profesional y líder de los productos de anillo de la guía de carburo Tantalum en China. Nuestro anillo de guía de carburo tantalum (TAC) es un componente de anillo de alto rendimiento hecho de carburo tantalum, que se usa comúnmente en equipos de procesamiento de semiconductores, especialmente en entornos de alta temperatura y altamente corrosivos como ECV, PVD, grabado y difusión. Vetek Semiconductor se compromete a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores, y acoge con la bienvenida a sus consultas.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de tantalio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de tantalio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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Recubrimiento de carburo de tantalio

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Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:

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