Anillo recubierto de TAC

El anillo recubierto de Veteksemi TAC es un componente de alto rendimiento adaptado para los procesos de fabricación de semiconductores. Su recubrimiento de carburo tantalum (TAC) diseñado de forma única proporciona al producto una excelente resistencia a la alta temperatura, resistencia a la corrosión y estabilidad mecánica, mejorando significativamente la vida útil y la confiabilidad de los componentes de grafito en equipos semiconductores.

Rendimiento superior de los recubrimientos de carburo tantalum:

● Resistencia a la temperatura ultra alta: los recubrimientos TAC pueden resistir fácilmente temperaturas extremas de hasta 2200 ° C y permanecer estable en entornos de choque térmico comunes en la fabricación de semiconductores.

● Excelente estabilidad química: el recubrimiento muestra una fuerte resistencia a los gases corrosivos comunes como hidrógeno, amoníaco, silano y silicio, protegiendo efectivamente el sustrato del ataque químico.

● Excelentes propiedades mecánicas: el recubrimiento TAC tiene alta dureza, alta resistencia al desgaste y buena resistencia al choque térmico, y puede funcionar de manera estable durante mucho tiempo en condiciones de trabajo duras.

● Excelente adhesión: el recubrimiento está estrechamente unido al sustrato de grafito, evitando efectivamente que el recubrimiento se despegue y garantice un rendimiento constante durante la vida útil del producto.

● Alta pureza: el recubrimiento TAC preparado por CVD tiene una pureza extremadamente alta, lo que minimiza la introducción de impurezas y proporciona un entorno de proceso limpio para la fabricación de semiconductores.

Ventajas de los anillos recubiertos de carburo tantalum:

● Vida de equipo extendido: El recubrimiento TAC bloquea efectivamente las reacciones químicas y la difusión de impurezas, extendiendo significativamente la vida útil de los componentes de grafito y reduciendo los costos de mantenimiento.

● Mejorar la eficiencia de producción: La alta resistencia a la temperatura y la resistencia a la corrosión del producto le permiten operar en condiciones más exigentes, acortando el ciclo de producción y aumentando la capacidad de producción.

● Mejorar la calidad del producto: El recubrimiento TAC de alta pureza ayuda a reducir la contaminación, asegurando la calidad y la consistencia de los productos semiconductores.

Vetek Semiconductor se ha especializado en productos de recubrimiento de TAC comoTac recubrimiento chuck, Placa de rotación de recubrimiento TAC, Subser de recubrimiento TAC, Susceptor de obleas recubiertas de TACdurante muchos años. Nuestros productos de anillo recubierto de TAC tienen las funciones de la vida útil de los equipos extendidos, la mejor eficiencia de producción y la mejor calidad del producto. Al mismo tiempo, Vetek Semiconductor se ha comprometido durante mucho tiempo a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores. 

Debido a las diferentes propiedades químicas de los materiales de grafito y tántalo de carburo, el coeficiente de expansión térmica no coincidirá, y es fácil ser calentado a alta temperatura por vetek semiconductor a través de un proceso específico para promover la formación de la recubrimiento de carburo tantálico parcialmente depositado en la superficie de la matriz y parcialmente penetrada en la matriz grafita. De esta manera, el recubrimiento de carburo tantalum está estrechamente anidado en la matriz de grafito a través del crecimiento in situ, lo que aumenta significativamente la fuerza de unión entre el recubrimiento y la matriz y evita efectivamente el pelado del recubrimiento de carburo tantálico. Esperamos sinceramente convertirse en su socio a largo plazo en China.

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