Anillo recubierto de carburo tantalum

El anillo recubierto de carburo de vetek semiconductor tantalum está elaborado congrafitoy recubierto con Tantalum Carbide, una combinación que aprovecha las mejores propiedades de ambos materiales para garantizar un rendimiento superior y la longevidad. 

El recubrimiento de TAC en el anillo de recubrimiento de carburo tantálio asegura que permanezca químicamente inerte en las atmósferas reactivas de los hornos de crecimiento de cristal SiC, que a menudo involucran gases como hidrógeno, argón y nitrógeno. Esta inercia química es vital para prevenir cualquier contaminación del cristal en crecimiento, lo que podría conducir a defectos y un rendimiento reducido de los productos semiconductores finales. Además, la estabilidad térmica proporcionada por el recubrimiento TAC permite que el anillo de recubrimiento de carburo tantílico funcione de manera efectiva a las altas temperaturas requeridas para el crecimiento del cristal SiC, que generalmente excede los 2000 ° C.

El recubrimiento TAC denso y uniforme se puede preparar en la superficie de grafito mediante pulverización de plasma, método de CVD y método de sinterización de lodo, pero el método de pulverización de plasma tiene altos requisitos de equipos y formación de TA2C. Es difícil preparar el recubrimiento compuesto mediante el método de sinterización de lodo, y la resistencia al choque térmico del recubrimiento es pobre. El recubrimiento preparado por el método CVD tiene una composición controlable y una densidad más alta, que es un método común de recubrimiento de carburo tantalum en la actualidad.

Las propiedades mecánicas de TAC reducen en gran medida el desgaste en el anillo de recubrimiento de carburo tantálio. Esto es crucial debido a la naturaleza repetitiva del proceso de crecimiento cristalino, que expone el anillo de guía a ciclos térmicos frecuentes y tensiones mecánicas. La dureza y la resistencia al desgaste de TAC aseguran que el anillo recubierto de TAC mantenga su integridad estructural y dimensiones precisas durante largos períodos, minimizando la necesidad de reemplazos frecuentes y reduciendo el tiempo de inactividad en el proceso de fabricación. 

La densidad en masa del recubrimiento de carburo tantalum es de 14.3gm/cm3, la emisividad 0.3, la dureza es de 2000hk, el punto de fusión es 3950S ℃ y se han seleccionado buenas propiedades físicas como un material común para la tercera generación de semiconductores.

Además, la combinación de grafito y TAC en el anillo de recubrimiento de carburo tantálico optimiza el manejo térmico dentro del horno de crecimiento de cristales. La alta conductividad térmica de Graphite distribuye eficientemente el calor, evitando los puntos críticos y promoviendo el crecimiento de cristales uniformes. Mientras tanto, el recubrimiento TAC sirve como una barrera térmica, protegiendo el núcleo de grafito de la exposición directa a altas temperaturas y gases reactivos. Esta sinergia entre el núcleo y los materiales de recubrimiento da como resultado un anillo de guía que no solo soporta las duras condiciones deCrecimiento de cristal sicpero también mejora la eficiencia general y la calidad del proceso.

El anillo recubierto de carburo de semiconductores de vetek es un componente esencial en la industria de semiconductores, específicamente diseñado para el crecimiento deCristales de carburo de silicio. Su diseño aprovecha las fortalezas del grafito y el carburo tantálico para ofrecer un rendimiento excepcional en entornos de alta temperatura y de alto estrés. El recubrimiento TAC garantiza la inercia química, la durabilidad mecánica y la estabilidad térmica, todo lo cual es crítico para producir cristales SIC de alta calidad. Al mantener su integridad y funcionalidad en condiciones extremas, el anillo respalda el crecimiento eficiente y sin defectos de los cristales SIC, lo que contribuye al avance de los dispositivos semiconductores de alta potencia y alta frecuencia.

Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor líder deRevestimiento de carburo tantalum, Revestimiento de carburo de silicioyGrafito especialen China. Durante mucho tiempo nos hemos comprometido a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores, y esperamos sinceramente ser su socio a largo plazo en China.

Revestimiento de carburo tantalum (TAC)en una sección transversal microscópica：

Descripción general delCadena de la industria de la epitaxia de chip de semiconductores：