Recubrimiento de carburo de tantalio

VeTek Semiconductor es un fabricante líder de materiales de recubrimiento de carburo de tantalio para la industria de semiconductores. Nuestra principal oferta de productos incluye piezas con revestimiento de carburo de tantalio CVD, piezas con revestimiento de TaC sinterizado para el crecimiento de cristales de SiC o procesos de epitaxia de semiconductores. Aprobado ISO9001, VeTek Semiconductor tiene un buen control de calidad. VeTek Semiconductor se dedica a convertirse en innovador en la industria de recubrimientos de carburo de tantalio mediante la investigación y el desarrollo continuos de tecnologías iterativas.

Los principales productos sonAnillo guía recubierto de TaC, Anillo guía de tres pétalos recubierto de CVD TaC, Media luna recubierta de TaC de carburo de tantalio, Susceptor epitaxial planetario de SiC con revestimiento CVD TaC, Anillo de recubrimiento de carburo de tantalio, Grafito poroso recubierto de carburo de tantalio, Susceptor de rotación de recubrimiento TaC, Anillo de carburo de tantalio, Placa de rotación de recubrimiento TaC, Susceptor de oblea recubierta de TaC, Anillo deflector recubierto de TaC, Cubierta de revestimiento CVD TaC, Mandril recubierto de TaCetc., la pureza es inferior a 5 ppm y puede cumplir con los requisitos del cliente.

El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD). La ventaja se muestra en la siguiente imagen:

Excellent properties of TaC coating graphite

El recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) ha llamado la atención debido a su alto punto de fusión de hasta 3880 °C, excelente resistencia mecánica, dureza y resistencia a los choques térmicos, lo que lo convierte en una alternativa atractiva a los procesos de epitaxia de semiconductores compuestos con requisitos de temperatura más altos. como el sistema Aixtron MOCVD y el proceso de epitaxia LPE SiC. También tiene una amplia aplicación en el proceso de crecimiento de cristales de SiC del método PVT.

Características clave:

●Estabilidad de temperatura

●Pureza ultraalta

●Resistencia a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistencia al stock térmico.

●Fuerte adherencia al grafito.

●Cobertura de revestimiento conformado

● Tamaño hasta 750 mm de diámetro (El único fabricante en China alcanza este tamaño)

Aplicaciones:

●Portador de oblea

● Susceptor de calentamiento inductivo

● Elemento calefactor resistivo

●Disco satelital

●cabezal de ducha

●Anillo guía

●Receptor LED Epi

●Boquilla de inyección

●anillo de enmascaramiento

● Escudo térmico

Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:

Propiedades físicas del recubrimiento TaC.
Densidad	14,3 (g/cm³)
Emisividad específica	0.3
Coeficiente de expansión térmica	6.3 10^-6/K
Dureza (HK)	2000 Hong Kong
Resistencia	1×10^-5Ohmios*cm
Estabilidad térmica	<2500℃
Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
Espesor del recubrimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Datos EDX del recubrimiento TaC：

EDX data of TaC coating

Datos de la estructura cristalina del recubrimiento TaC:

Elemento	Porcentaje atómico
	pt. 1	pt. 2	pt. 3	Promedio
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
A ellos	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandril de recubrimiento TaC Disco planetario con revestimiento de TaC
Placa recubierta de TaC Placa de rotación de recubrimiento TaC Receptor de recubrimiento TaC Cubierta de recubrimiento CVD TaC Anillo de recubrimiento CVD TaC Placa de revestimiento TaC

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Anillo de recubrimiento TAC

El anillo de recubrimiento TAC es un componente de alto rendimiento diseñado para su uso en procesos de semiconductores, el anillo de recubrimiento TAC de semiconductores vetek tiene una alta estabilidad térmica, resistencia a la corrosión química y una excelente resistencia mecánica y se usa específicamente para tener y soportar obleas SIC durante el proceso de grabado, donde el control preciso y la durabilidad son esenciales para lograr obleas de alta calidad. Esperamos su consulta adicional.

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Crisol de revestimiento TAC

Como proveedor profesional de crisol y fabricante de cruces de TAC en China, el crisol del recubrimiento TAC del semiconductor de Vetek juega un papel irremplazable en el proceso de crecimiento de cristales únicos de los semiconductores con su excelente conductividad térmica, estabilidad química sobresaliente y una mayor resistencia a la corrosión. Dé la bienvenida a sus consultas adicionales.

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Anillo guía recubierto de carburo tantalum

Como proveedor y fabricante de anillos de guía de recubrimiento TAC de China, el anillo de guía recubierto de carburo de semiconductores Vetek Semiconductor es un componente importante utilizado para guiar y optimizar el flujo de gases reactivos en el método PVT (transporte de vapor físico). Promueve la deposición uniforme de cristales individuales SIC en la zona de crecimiento ajustando la distribución y la velocidad del flujo de gas. Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor líder de los anillos de la Guía de recubrimiento TAC en China e incluso en el mundo, y esperamos su consulta.

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Grafito poroso recubierto de carburo tantalum

El grafito poroso recubierto de carburo de tantalio es un producto indispensable en el proceso de procesamiento de semiconductores, especialmente en el proceso de crecimiento de cristales SIC. Después de una continua inversión en I+D y actualizaciones tecnológicas, la calidad del producto de grafito poroso recubierto de TaC de VeTek Semiconductor ha recibido grandes elogios de los clientes europeos y americanos. Bienvenido a su consulta adicional.

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Susceptor epitaxial planetario de SiC con revestimiento CVD TaC

El susceptor epitaxial planetario de SiC con revestimiento CVD TaC es uno de los componentes centrales del reactor planetario MOCVD. A través del susceptor epitaxial planetario de SiC con recubrimiento CVD TaC, el disco grande orbita y el disco pequeño gira, y el modelo de flujo horizontal se extiende a máquinas de múltiples chips, de modo que tiene tanto la gestión de uniformidad de longitud de onda epitaxial de alta calidad como la optimización de defectos de un solo Máquinas de chips y las ventajas de costos de producción de las máquinas de chips múltiples. VeTek Semiconductor puede proporcionar a los clientes un susceptor epitaxial planetario de SiC con recubrimiento CVD TaC altamente personalizado. Si también quieres fabricar un horno MOCVD planetario como Aixtron, ¡ven a nosotros!

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Anillo recubierto de TAC

Como fabricante líder y proveedor de productos de anillo recubiertos de TAC en China, Vetek Semiconductor se ha centrado en la I + D y la producción de varios productos de recubrimiento de TAC. Como los principales clientes de los productos de recubrimiento de TAC, los fabricantes europeos y estadounidenses han dado grandes elogios a nuestros productos de recubrimiento. Bienvenido a su consulta adicional.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de tantalio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de tantalio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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Recubrimiento de carburo de tantalio

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Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) en una sección transversal microscópica:

Parámetro del recubrimiento de carburo de tantalio semiconductor VeTek:

Datos EDX del recubrimiento TaC：

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