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Anillo de recubrimiento de carburo tantalum
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Anillo de recubrimiento de carburo tantalum

El anillo de recubrimiento de carburo de semiconductores Vetek Tantalum es un componente indispensable en la industria de semiconductores, específicamente en el grabado de las obleas SIC. Su combinación de una base de grafito y un recubrimiento TAC asegura un rendimiento superior en entornos a alta temperatura y químicamente agresivos. Con su mejor estabilidad térmica, resistencia a la corrosión y resistencia mecánica, el anillo recubierto de carburo tantálico ayuda a los fabricantes de semiconductores a lograr precisión, confiabilidad y resultados de alta calidad en sus procesos de producción.

Proceso de grabado de sicAplicación del anillo de recubrimiento de carburo tantalum

El anillo de recubrimiento de carburo Tantalum se usa principalmente en el proceso de crecimiento de un solo cristal de SIC, un paso esencial en la producción de dispositivos semiconductores como dispositivos de potencia y dispositivos de RF. El recubrimiento de carburo tantalum (TAC) es un material ampliamente utilizado en aplicaciones de semiconductores de alto rendimiento debido a su capacidad para resistir un entorno duro, altas temperaturas. El anillo de recubrimiento de carburo Tantalum es un proceso delicado que requiere componentes capaces de resistir condiciones duras mientras se mantiene la precisión y la estabilidad.

Los investigadores descubrieron que al aplicar un recubrimiento TAC en la superficie del grafito, podrían mejorar significativamente su resistencia a la oxidación, la corrosión, el desgaste y mejorar sus propiedades mecánicas. Este proceso de recubrimiento mejora el rendimiento general del grafito en entornos de alta temperatura y corrosivo.


Entornos de alta temperatura y alta precisión

El anillo de recubrimiento TAC del semiconductor de Vetek es particularmente útil en entornos de semiconductores de alta temperatura donde está expuesto a temperaturas elevadas y gases reactivos. EsRecubrimiento TAClo protege de los efectos corrosivos de estas sustancias, manteniendo su funcionalidad durante todo el proceso de grabado.


Manejo de obleas de sic

El anillo recubierto de TAC sirve como un excelente soporte y sistema de soporte paraObleas de sicDurante el proceso de grabado. Su ajuste preciso asegura que la oblea se coloque correctamente, evitando cualquier movimiento durante el grabado que pueda dar como resultado superficies desiguales o imperfectas.


Grabado en fabricación avanzada de semiconductores

El anillo de recubrimiento de carburo Tantalum juega un papel crucial en el mantenimiento de la precisión y la calidad requeridas en la industria de semiconductores, particularmente en la fabricación de dispositivos avanzados, donde tanto la integridad de la oblea como la calidad del proceso de grabado son primordiales. El anillo de recubrimiento TAC de alta calidad evita algún error en el proceso de trabajo.


La longevidad del anillo recubierto de TAC es una de sus ventajas más significativas. El recubrimiento TAC proporciona una capa adicional de protección que extiende la vida útil del componente, incluso en los entornos de grabado de semiconductores más duros. Este desgaste reducido no solo se traduce en menos reemplazos, sino que también reduce los costos operativos generales para los fabricantes de semiconductores. Al extender la vida útil del componente, el anillo de recubrimiento TAC ofrece una solución rentable para líneas de producción de alto volumen que requieren piezas confiables y duraderas.

Como proveedor líder y fabricante de anillo de recubrimiento de carburo Tantalum en China, el anillo recubierto de Tac de semiconductores Vetek es un componente altamente especializado e indispensable en la industria de semiconductores, específicamente en el grabado de obleas SIC. Diseñado para la durabilidad y la longevidad, proporciona una excelente solución para mejorar la eficiencia y reducir los costos operativos en aplicaciones de grabado SIC. El semiconductor de Vetek espera sinceramente convertirse en su socio a largo plazo en China.

QuímicoPropiedades del recubrimiento TAC

Propiedades químicas del recubrimiento de carburo tantalum (TAC)
TAC
B
N O Y S CL Nótese bien N / A

0.4

14 39 0.14 0.29 13 0.87 < 0.05


Propiedades físicas del recubrimiento TAC

PPropiedades históricas del recubrimiento TAC
Densidad de recubrimiento TAC
14.3 (g/cm³)
Emisividad específica
0.3
Coeficiente de expansión térmica
6.3*10-6/K
Dureza de recubrimiento TAC (HK)
2000 HK
Resistencia
1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidad térmica
<2500 ℃
Cambios de tamaño de grafito
-10 ~ -20um
Espesor de revestimiento
≥20um valor típico (35um ± 10um)

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