Recubrimiento de carburo de silicio

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultra puro, estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro de recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento de SiC	3,21 g/cm³
Recubrimiento de SiCDureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m^-1·k^-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K^-1

ESTRUCTURA CRISTALINA DE PELÍCULA CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi recubierto de carburo de silicio Portador de oblea con revestimiento de SiC Cubierta de satélite recubierta de SiC para MOCVD Susceptor Epi de oblea con revestimiento de SiC CVD Elemento calefactor con revestimiento CVD SiC Portaobleas Aixtron Satellite Receptor Epi con revestimiento de SiC Piezas de grafito en forma de media luna con revestimiento de SiC

View as

Mocvd Epitaxial Wafer proporcionando

Vetek Semiconductor se ha involucrado en la industria del crecimiento epitaxial de semiconductores durante mucho tiempo y tiene ricas experiencia y habilidades de procesamiento en productos de susceptores de obleas epitaxiales MOCVD. Hoy, el semiconductor de Vetek se ha convertido en el principal fabricante y proveedor de susceptores de obleas epitaxiales de MOCVD de China, y los susceptores de obleas que proporciona han jugado un papel importante en la fabricación de obleas epitaxiales GaN y otros productos.

Ver más >> Enviar Consulta >>

Horno vertical con anillo recubierto de SiC

El anillo recubierto de horno vertical es un componente especialmente diseñado para el horno vertical. Vetek Semiconductor puede hacer lo mejor para usted en términos de materiales y procesos de fabricación. Como fabricante líder y proveedor del anillo recubierto de horno vertical en China, Vetek Semiconductor confía en que podemos proporcionarle los mejores productos y servicios.

Ver más >> Enviar Consulta >>

Gan Epitaxial Undertaker

Como proveedor y fabricante líder de susceptores epitaxiales de GaN en China, el susceptor epitaxial de Gaxial de semiconductores Vetek es un susceptor de alta precisión diseñado para el proceso de crecimiento epitaxial de GaN, utilizado para apoyar equipos epitaxiales como CVD y MOCVD. En la fabricación de dispositivos GaN (como dispositivos electrónicos de potencia, dispositivos RF, LED, etc.), el susceptor epitaxial GaN lleva el sustrato y logra la deposición de alta calidad de las películas delgadas GaN bajo un entorno de alta temperatura. Dé la bienvenida a su investigación adicional.

Ver más >> Enviar Consulta >>

Transportista de obleas recubiertas de sic

Como proveedor y fabricante líder de portadores de obleas recubiertos de SIC en China, el portador de obleas recubierto de SIC del semiconductor de Vetek está hecho de grafito de alta calidad y recubrimiento SIC CVD, que tiene una súper estabilidad y puede funcionar durante mucho tiempo en la mayoría de los reactores epitaxiales. Vetek Semiconductor tiene capacidades de procesamiento líder en la industria y puede cumplir con los diversos requisitos personalizados de los clientes para los transportistas de obleas recubiertas de SIC. El semiconductor de Vetek espera establecer una relación cooperativa a largo plazo con usted y crecer juntos.

Ver más >> Enviar Consulta >>

Calentador MOCVD de grafito con revestimiento de SiC

El semiconductor Vetek produce un calentador MOCVD de grafito SIC, que es un componente clave del proceso MOCVD. Basado en un sustrato de grafito de alta pureza, la superficie está recubierta con un recubrimiento SIC de alta pureza para proporcionar una excelente estabilidad de alta temperatura y resistencia a la corrosión. Con servicios de productos de alta calidad y altamente personalizados, el calentador de grafito MOCVD de recubrimiento SIC de Vetek Semiconductor es una opción ideal para garantizar la estabilidad del proceso MOCVD y la calidad de deposición de película delgada. Vetek Semiconductor espera convertirse en su socio.

Ver más >> Enviar Consulta >>

Susceptor Epi recubierto de carburo de silicio

Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor líder de productos de recubrimiento SIC en China. El susceptor EPI recubierto de carburo de silicio de Vetek Semiconductor tiene el nivel de calidad superior de la industria, es adecuado para múltiples estilos de hornos de crecimiento epitaxial y proporciona servicios de productos altamente personalizados. El semiconductor de Vetek espera convertirse en su socio a largo plazo en China.

Ver más >> Enviar Consulta >>

Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

Código QR

Sobre nosotros

Productos

Contáctenos

Teléfono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Correo electrónico
anny@veteksemi.com
DIRECCIÓN
Wangda Road, Ziyang Street, condado de Wuyi, ciudad de Jinhua, provincia de Zhejiang, China

Menú Web

Búsqueda de Producto

Idioma

Salir del menú

Recubrimiento de carburo de silicio

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Parámetro de recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek

ESTRUCTURA CRISTALINA DE PELÍCULA CVD SIC

Mocvd Epitaxial Wafer proporcionando

Horno vertical con anillo recubierto de SiC

Gan Epitaxial Undertaker

Transportista de obleas recubiertas de sic

Calentador MOCVD de grafito con revestimiento de SiC

Susceptor Epi recubierto de carburo de silicio

Enviar Consulta

Código QR

Sobre nosotros

Productos

Contáctenos

Teléfono

Fax

Correo electrónico

DIRECCIÓN