Recubrimiento de carburo de silicio

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultra puro, estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro de recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento de SiC	3,21 g/cm³
Recubrimiento de SiCDureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m^-1·k^-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K^-1

ESTRUCTURA CRISTALINA DE PELÍCULA CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi recubierto de carburo de silicio Portador de oblea con revestimiento de SiC Cubierta de satélite recubierta de SiC para MOCVD Susceptor Epi de oblea con revestimiento de SiC CVD Elemento calefactor con revestimiento CVD SiC Portaobleas Aixtron Satellite Receptor Epi con revestimiento de SiC Piezas de grafito en forma de media luna con revestimiento de SiC

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Gan Epitaxial Undertaker

Como proveedor y fabricante líder de susceptores epitaxiales de GaN en China, el susceptor epitaxial de Gaxial de semiconductores Vetek es un susceptor de alta precisión diseñado para el proceso de crecimiento epitaxial de GaN, utilizado para apoyar equipos epitaxiales como CVD y MOCVD. En la fabricación de dispositivos GaN (como dispositivos electrónicos de potencia, dispositivos RF, LED, etc.), el susceptor epitaxial GaN lleva el sustrato y logra la deposición de alta calidad de las películas delgadas GaN bajo un entorno de alta temperatura. Dé la bienvenida a su investigación adicional.

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Transportista de obleas recubiertas de sic

Como proveedor y fabricante líder de portadores de obleas recubiertos de SIC en China, el portador de obleas recubierto de SIC del semiconductor de Vetek está hecho de grafito de alta calidad y recubrimiento SIC CVD, que tiene una súper estabilidad y puede funcionar durante mucho tiempo en la mayoría de los reactores epitaxiales. Vetek Semiconductor tiene capacidades de procesamiento líder en la industria y puede cumplir con los diversos requisitos personalizados de los clientes para los transportistas de obleas recubiertas de SIC. El semiconductor de Vetek espera establecer una relación cooperativa a largo plazo con usted y crecer juntos.

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Calentador MOCVD de grafito con revestimiento de SiC

El semiconductor Vetek produce un calentador MOCVD de grafito SIC, que es un componente clave del proceso MOCVD. Basado en un sustrato de grafito de alta pureza, la superficie está recubierta con un recubrimiento SIC de alta pureza para proporcionar una excelente estabilidad de alta temperatura y resistencia a la corrosión. Con servicios de productos de alta calidad y altamente personalizados, el calentador de grafito MOCVD de recubrimiento SIC de Vetek Semiconductor es una opción ideal para garantizar la estabilidad del proceso MOCVD y la calidad de deposición de película delgada. Vetek Semiconductor espera convertirse en su socio.

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Susceptor Epi recubierto de carburo de silicio

Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor líder de productos de recubrimiento SIC en China. El susceptor EPI recubierto de carburo de silicio de Vetek Semiconductor tiene el nivel de calidad superior de la industria, es adecuado para múltiples estilos de hornos de crecimiento epitaxial y proporciona servicios de productos altamente personalizados. El semiconductor de Vetek espera convertirse en su socio a largo plazo en China.

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Recubrimiento de SiC Bandeja epitaxial de silicio monocristalino

La bandeja epitaxial de silicio monocristalino de SIC es un accesorio importante para el horno de crecimiento epitaxial de silicio monocristalino, asegurando una contaminación mínima y un entorno de crecimiento epitaxial estable. La bandeja epitaxial monocristalina de recubrimiento SIC de Vetek Semiconductor tiene una vida útil ultra larga y proporciona una variedad de opciones de personalización. El semiconductor de Vetek espera convertirse en su socio a largo plazo en China.

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Transportista sólido de obleas sic

El portador sólido de obleas SIC del semiconductor de Vetek está diseñado para entornos resistentes a la alta temperatura y corrosión en procesos epitaxiales semiconductores y es adecuado para todos los tipos de procesos de fabricación de obleas con requisitos de alta pureza. Vetek Semiconductor es un proveedor líder de transportistas de obleas en China y espera convertirse en su socio a largo plazo en la industria de los semiconductores.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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