Recubrimiento de carburo de silicio

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultra puro, estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro de recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento de SiC	3,21 g/cm³
Recubrimiento de SiCDureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m^-1·k^-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K^-1

ESTRUCTURA CRISTALINA DE PELÍCULA CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi recubierto de carburo de silicio Portador de oblea con revestimiento de SiC Cubierta de satélite recubierta de SiC para MOCVD Susceptor Epi de oblea con revestimiento de SiC CVD Elemento calefactor con revestimiento CVD SiC Portaobleas Aixtron Satellite Receptor Epi con revestimiento de SiC Piezas de grafito en forma de media luna con revestimiento de SiC

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EP liderado por Veeco

El susceptor EPI de Vetek Semiconductor Veeco está diseñado para el crecimiento epitaxial de LED rojos y amarillos. Los materiales avanzados y la tecnología de recubrimiento CVD SIC garantizan la estabilidad térmica del susceptor, lo que hace que el campo de temperatura sea uniforme durante el crecimiento, reduciendo los defectos cristalinos y mejorando la calidad y consistencia de las obleas epitaxiales. Es compatible con el equipo de crecimiento epitaxial de Veeco y puede integrarse sin problemas en la línea de producción. El diseño preciso y el rendimiento confiable ayudan a mejorar la eficiencia y reducir los costos. Esperamos sus consultas.

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Anillo de enfoque sic cvd

Vetek Semiconductor es un fabricante nacional líder y proveedor de anillos de enfoque CVD SIC, dedicado a proporcionar soluciones de productos de alta fiabilidad y alto rendimiento para la industria de semiconductores. Los anillos de enfoque SIC de CVD de Vetek Semiconductor utilizan tecnología avanzada de deposición de vapor químico (CVD), tienen una excelente resistencia a la temperatura, resistencia a la corrosión y conductividad térmica, y se utilizan ampliamente en procesos de litografía semiconductora. Sus consultas siempre son bienvenidas.

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Componente de techo Aixtron G5+

Vetek Semiconductor se ha convertido en un proveedor de consumibles para muchos equipos de MOCVD con sus capacidades de procesamiento superiores. El componente de techo AixTron G5+ es uno de nuestros últimos productos, que es casi el mismo que el componente original de AixTron y ha recibido buenos comentarios de los clientes. Si necesita dichos productos, comuníquese con Vetek Semiconductor.

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Susceptor de barril de grafito recubierto de SIC

El susceptor de barril de grafito de semiconductores Vetek Sic es una bandeja de obleas de alto rendimiento diseñada para procesos de epitaxia de semiconductores, que ofrece una excelente conductividad térmica, resistencia a la alta temperatura y química, una superficie de alta pureza y opciones personalizables para mejorar la eficiencia de la producción. Dé la bienvenida a su investigación adicional.

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Mocvd Epitaxial Wafer proporcionando

Vetek Semiconductor se ha involucrado en la industria del crecimiento epitaxial de semiconductores durante mucho tiempo y tiene ricas experiencia y habilidades de procesamiento en productos de susceptores de obleas epitaxiales MOCVD. Hoy, el semiconductor de Vetek se ha convertido en el principal fabricante y proveedor de susceptores de obleas epitaxiales de MOCVD de China, y los susceptores de obleas que proporciona han jugado un papel importante en la fabricación de obleas epitaxiales GaN y otros productos.

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Horno vertical con anillo recubierto de SiC

El anillo recubierto de horno vertical es un componente especialmente diseñado para el horno vertical. Vetek Semiconductor puede hacer lo mejor para usted en términos de materiales y procesos de fabricación. Como fabricante líder y proveedor del anillo recubierto de horno vertical en China, Vetek Semiconductor confía en que podemos proporcionarle los mejores productos y servicios.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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