Recubrimiento de carburo de silicio

El susceptor de obleas recubierto de CVD SIC de Veteksemicon es una solución de vanguardia para procesos epitaxiales semiconductores, que ofrece pureza ultra alta (≤100ppb, certificada ICP-E10) y una estabilidad térmica/química excepcional para el crecimiento resistente a la contaminación de las capas EPI basadas en EPI basadas en EPI. Diseñado con tecnología CVD de precisión, admite obleas de 6 "/8"/12 ", garantiza un estrés térmico mínimo y soporta temperaturas extremas de hasta 1600 ° C.

Nuestro susceptor planetario recubierto de SIC es un componente central en el proceso de alta temperatura de fabricación de semiconductores. Su diseño combina sustrato de grafito con recubrimiento de carburo de silicio para lograr una optimización integral del rendimiento del manejo térmico, la estabilidad química y la resistencia mecánica.

Nuestro anillo de sellado recubierto de SIC para la epitaxia es un componente de sellado de alto rendimiento basado en compuestos de grafito o carbono-carbono recubierto con carburo de silicio de alta pureza (sic) por depósito de vapor químico (CVD), que combina la estabilidad térmica de grafito con la resistencia ambiental extrema de SIC y está diseñada para el equipo epitaxial semiconductor (E.G.

El susceptor de grafito de Epi de obleas de Veteksemicon está diseñado para carburo de silicio de alto rendimiento (sic), nitruro de galio (GaN) y otro proceso epitaxial semiconductor de tercera generación, y es el componente de soporte central de la hoja epitaxial de alta precisión en la producción de masas.

Un componente importante utilizado en el proceso de grabado de fabricación de obleas es el anillo de enfoque de grabado de plasma, cuya función es mantener la oblea en su lugar para mantener la densidad de plasma y evitar la contaminación de los lados de la oblea. El semiconductor de Vetek proporciona un anillo de enfoque de grabado con plasma con diferentes materiales como el monocristalino silicon, el carburo de silicon, el carburo de corbidas y otros materiales de cerburo de cerámica.

Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor líder de chucks electrónicos recubiertos de SIC en China. La colgra electrónica recubierta de SIC está especialmente diseñada para el proceso de grabado de obleas GaN, con un excelente rendimiento y una larga vida útil, para proporcionar soporte completo para su fabricación de semiconductores. Nuestra fuerte capacidad de procesamiento nos permite proporcionarle el susceptor de cerámica SIC que desea. Esperando su consulta.