Recubrimiento de carburo de silicio

VeTek Semiconductor se especializa en la producción de productos de recubrimiento de carburo de silicio ultra puro, estos recubrimientos están diseñados para aplicarse a grafito purificado, cerámica y componentes metálicos refractarios.

Nuestros recubrimientos de alta pureza están destinados principalmente a su uso en las industrias de semiconductores y electrónica. Sirven como capa protectora para portadores de obleas, susceptores y elementos calefactores, protegiéndolos de los entornos corrosivos y reactivos que se encuentran en procesos como MOCVD y EPI. Estos procesos son parte integral del procesamiento de obleas y la fabricación de dispositivos. Además, nuestros recubrimientos son adecuados para aplicaciones en hornos de vacío y calentamiento de muestras, donde se encuentran ambientes de alto vacío, reactivos y oxígeno.

En VeTek Semiconductor, ofrecemos una solución integral con nuestras capacidades avanzadas de taller mecánico. Esto nos permite fabricar los componentes base utilizando grafito, cerámica o metales refractarios y aplicar los recubrimientos cerámicos de SiC o TaC internamente. También brindamos servicios de recubrimiento para piezas suministradas por el cliente, lo que garantiza flexibilidad para satisfacer diversas necesidades.

Nuestros productos de recubrimiento de carburo de silicio se utilizan ampliamente en epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, proceso RTP/RTA, proceso de grabado, proceso de grabado ICP/PSS, proceso de varios tipos de LED, incluidos LED azul y verde, LED UV y UV profundo. LED, etc., que se adapta a equipos de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Piezas del reactor que podemos hacer:

Recubrimiento de carburo de silicio varias ventajas únicas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parámetro de recubrimiento de carburo de silicio semiconductor VeTek

Propiedades físicas básicas del recubrimiento CVD SiC.
Propiedad	Valor típico
Estructura cristalina	FCC fase β policristalina, principalmente orientada (111)
Densidad del recubrimiento de SiC	3,21 g/cm³
Recubrimiento de SiCDureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500 g)
Tamaño del grano	2~10μm
Pureza química	99,99995%
Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
Temperatura de sublimación	2700 ℃
Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
Conductividad térmica	300W·m^-1·k^-1
Expansión Térmica (CTE)	4,5×10-6K^-1

ESTRUCTURA CRISTALINA DE PELÍCULA CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi recubierto de carburo de silicio Portador de oblea con revestimiento de SiC Cubierta de satélite recubierta de SiC para MOCVD Susceptor Epi de oblea con revestimiento de SiC CVD Elemento calefactor con revestimiento CVD SiC Portaobleas Aixtron Satellite Receptor Epi con revestimiento de SiC Piezas de grafito en forma de media luna con revestimiento de SiC

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Sic recubierto de e-chuck

Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor líder de chucks electrónicos recubiertos de SIC en China. La colgra electrónica recubierta de SIC está especialmente diseñada para el proceso de grabado de obleas GaN, con un excelente rendimiento y una larga vida útil, para proporcionar soporte completo para su fabricación de semiconductores. Nuestra fuerte capacidad de procesamiento nos permite proporcionarle el susceptor de cerámica SIC que desea. Esperando su consulta.

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Placa de grabado de SIC ICP

Vetek Semiconductor proporciona placas de grabado SIC ICP de alto rendimiento, diseñadas para aplicaciones de grabado ICP en la industria de semiconductores. Sus propiedades de material únicas le permiten funcionar bien en ambientes de alta temperatura, alta presión y corrosión química, lo que garantiza un excelente rendimiento y estabilidad a largo plazo en varios procesos de grabado. Como fabricante y proveedor líder de placas de grabado de SIC ICP en China, Vetek Semiconductor espera convertirse en su socio a largo plazo.

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Unidad de calefacción de grafito

La unidad de calentamiento de grafito de semiconductores vetek es una solución de calentamiento industrial de alto rendimiento hecha de material de grafito de alta pureza, que puede proporcionar un efecto de calentamiento preciso y eficiente. La unidad de calefacción de grafito se usa ampliamente en semiconductores, electrónica, cerámica y otros campos. Dé la bienvenida a su investigación adicional.

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Susceptor LED de UV profundo recubierto de SIC

El susceptor LED UV profundo recubierto de SIC está diseñado para el proceso MOCVD para admitir un crecimiento de la capa epitaxial de LED UV profunda y estable de Deep. Vetek Semiconductor es un fabricante y proveedor líder de susceptor LED profundo recubierto de SIC en China. Tenemos una rica experiencia y hemos establecido relaciones cooperativas a largo plazo con muchos fabricantes epitaxiales LED. Somos el principal fabricante nacional de productos de susceptores para LED. Después de años de verificación, la vida útil de nuestro producto está a la par con la de los principales fabricantes internacionales. Esperando su consulta.

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Epitaxy Providence LED

El susceptor de epitaxia LED de Vetek Semiconductor está diseñado para la fabricación epitaxial LED azul y verde. Combina el recubrimiento de carburo de silicio y el grafito SGL, y tiene alta dureza, baja rugosidad, buena estabilidad térmica y excelente estabilidad química. El susceptor de epitaxia LED es uno de los productos más destacados de Vetek Semiconductor. Esperamos su consulta.

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Materia prima CVD SIC de alta pureza

La materia prima CVD SIC de alta pureza preparada por CVD es el mejor material fuente para el crecimiento del cristal de carburo de silicio mediante el transporte de vapor físico. La densidad de la materia prima CVD SIC de alta pureza suministrada por el semiconductor Vetek es mayor que la de las pequeñas partículas formadas por la combustión espontánea de SI y gases que contienen C, y no requiere un horno de sinterización dedicado y tiene una tasa de evaporación casi constante. Puede cultivar cristales simples de SIC de extremadamente alta calidad. Esperando su consulta.

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Como fabricante y proveedor profesional Recubrimiento de carburo de silicio en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Recubrimiento de carburo de silicio avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.

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