Proceso de epitaxia de SiC

El recubrimiento TAC puede soportar una temperatura alta de 2200 ℃. El semiconductor Vetek proporciona un recubrimiento TAC de alta pureza con impurezas por debajo de 5 ppm en China. La placa de soporte de pedestal de recubrimiento de TAC puede resistir el hidrógeno de amoníaco, argonina en la cámara de reacción del dispositivo epitaxial. Mejora la vida útil del producto. Usted proporciona los requisitos, proporcionamos personalización.

El chuck TAC de Vetek Semiconductor presenta un recubrimiento de alta calidad de la superficie, conocida por sus sobresalientes resistencia a alta temperatura e inercia química, particularmente en los procesos de epitaxia de carburo de silicio (SIC) (EPI). Con sus características excepcionales y su rendimiento superior, nuestro TAC Coating Chuck ofrece varias ventajas clave. Estamos comprometidos a proporcionar productos de calidad a precios competitivos y esperamos ser su socio a largo plazo en China.

LPE SiC Epi Halfmoon es un diseño especial para horno de epitaxia horizontal, un producto revolucionario diseñado para elevar los procesos de epitaxia de SiC del reactor LPE. Esta solución de vanguardia cuenta con varias características clave que garantizan un rendimiento y una eficiencia superiores en todas sus operaciones de fabricación. Vetek Semiconductor es profesional en la fabricación de media luna LPE SiC Epi en 6 y 8 pulgadas. Esperamos establecer una cooperación a largo plazo con usted.

Las piezas de media luna recubiertas con revestimiento CVD TaC son más duraderas que las piezas de media luna recubiertas de SiC. VeTek Semiconductor es el fabricante y proveedor líder en China de media luna recubierta de carburo de tantalio con TaC, nos especializamos en I + D y producción, podemos controlar bien la calidad y ofrecer un precio competitivo. precio. Le invitamos a visitar nuestra fábrica para seguir discutiendo sobre una cooperación a largo plazo.

Vetek Semiconductor es un fabricante e innovador de anillos de tres pátales recubierto de TAC en China. Hemos sido especializados en recubrimiento TAC y SIC durante muchos años. Nuestros productos tienen resistencia a la corrosión, alta fuerza. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China. Asegurado para consultar en cualquier momento.

Vetek Semiconductor es un fabricante e innovador de Chuck recubierto de carburo tantalum líder en China. Hemos sido especializados en el recubrimiento de TAC durante muchos años. Nuestros productos tienen una alta pureza y resistencia a la alta temperatura de hasta 2000. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.