¿Qué es el recubrimiento CVD TAC? - Veteksemi

Como todos sabemos,Carburo de Tantalum (TAC)tiene un punto de fusión de hasta 3880 ° C, alta resistencia mecánica, dureza, resistencia al choque térmico; Buena inercia química y estabilidad térmica a amoníaco, hidrógeno, vapor que contiene silicio a altas temperaturas.

Recubrimiento de carburo tantalum en una sección transversal microscópica

Revestimiento CVD TAC, deposición química de vapor (CVD) derevestimiento de carburo tantalum (TAC), es un proceso para formar un recubrimiento duradero y de alta densidad sobre un sustrato (generalmente grafito). Este método implica depositar TaC sobre la superficie del sustrato a altas temperaturas, lo que da como resultado un recubrimiento con excelente estabilidad térmica y resistencia química.

Las principales ventajas de los recubrimientos CVD TAC incluyen:

● Estabilidad térmica extremadamente alta: El revestimiento de carburo de tantalio puede soportar temperaturas superiores a 2200 °C.

●  Resistencia química: El recubrimiento CVD TaC puede resistir eficazmente productos químicos agresivos como hidrógeno, amoníaco y vapor de silicio.

● Adhesión fuerte: El recubrimiento TAC asegura una protección duradera sin delaminación.

●  Alta pureza: minimiza las impurezas, lo que lo hace ideal para aplicaciones de semiconductores.

Estos recubrimientos son particularmente adecuados para entornos que requieren alta durabilidad y resistencia a condiciones extremas, como la fabricación de semiconductores y los procesos industriales de alta temperatura.

En la producción industrial, el grafito (compuesto de carbono-carbono) Es muy probable que los materiales recubiertos con recubrimiento de TAC reemplacen el grafito tradicional de alta pureza, el recubrimiento de PBN, las piezas de recubrimiento SIC, etc. Además, en el campo de los aeroespaciales, TAC tiene un gran potencial para usarse como antioxidación de alta temperatura y recubrimiento anti-ablación, y tiene amplias perspectivas de aplicación. Sin embargo, todavía hay muchos desafíos para lograr la preparación de un recubrimiento de TAC denso, uniforme y sin flotar en la superficie del grafito y promover la producción de masas industriales.

En este proceso, explorar el mecanismo de protección del recubrimiento, innovar el proceso de producción y competir con el nivel extranjero más alto son cruciales para la tercera generación.Crecimiento de cristales y epitaxia semiconductores.

VeTek Semiconductor es un fabricante chino profesional de productos de recubrimiento de carburo de tantalio CVD, y nuestra pureza de recubrimiento TaC es inferior a 5 ppm, lo que puede satisfacer los requisitos del cliente. Los principales productos con revestimiento CVD TaC de VeTekSemi incluyen CVD TAC Cubro Crisol, Portador de oblea con recubrimiento CVD TaC, Portador de recubrimiento CVD TaC, Cubierta de recubrimiento CVD TAC,  Anillo de recubrimiento CVD TaC. VeTek Semiconductor se compromete a proporcionar soluciones avanzadas para diversos productos de recubrimiento para la industria de semiconductores. VeTek Semiconductor espera sinceramente convertirse en su socio a largo plazo en China.

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