Campana de cuarzo de grado semiconductor

La campana de cuarzo de grado semiconductor está hecha de material de cuarzo de alta pureza. Tiene una excelente estabilidad térmica y una fuerte resistencia a la corrosión y se utiliza en muchos campos. En la industria de los semiconductores: la campana de cuarzo de grado semiconductor proporciona un entorno controlado para la deposición de películas delgadas sobre obleas durante la deposición química de vapor (CVD). La campana de cuarzo de grado semiconductor también se utiliza en procesos que requieren tecnología de vacío, como la producción de recubrimientos ópticos, recubrimientos metálicos y otros tipos de materiales de película delgada. La campana de cuarzo de grado semiconductor también es necesaria en muchos experimentos de ciencia física y de materiales que requieren un entorno sellado al vacío de alta pureza.

Escenarios de uso de la industria de semiconductores:

El polisilicio es un material de silicio compuesto por muchos granos pequeños, que se usa ampliamente en circuitos integrados, células solares y otros campos. La deposición de vapor químico (CVD) es uno de los principales métodos para preparar silicio policristalino. El principio básico es que el gas fuente de silicio, como SiH4, se descompone a alta temperatura y se deposita en el sustrato para formar silicio policristalino:

SiHCL3 + H2 ⇒ SI + 3HCL

Bajo condiciones de alta temperatura y vacío, el gas de fuente de silicio se alimentó en la deposición de vapor químico. El silicio policristalino finalmente se obtiene. El frasco de cuarzo de grado semiconductor es una parte importante del reactor de CVD de silicio policristalino.

Reactor CVD de silicio policristalino

Bajo la reacción de alta temperatura de CVD, el frasco de cuarzo de grado semiconductor puede proporcionar un ambiente térmico uniforme. La alta resistencia a la temperatura del material de cuarzo de alta pureza (puede soportar temperaturas de hasta aproximadamente 1100 ° C) le permite funcionar de manera estable en reacciones de CVD y garantizar la distribución de temperatura uniforme en el área de reacción. En el proceso de CVD, hay muchos componentes de gas tóxico, como PH3, etc. El frasco de campana de cuarzo de grado semiconductor puede aislar efectivamente los gases químicos en la cámara de reacción del entorno externo para evitar la fuga de gases nocivos. La resistencia a la corrosión del material de cuarzo de alta pureza también permite que otros materiales funcionen de manera estable durante mucho tiempo durante el proceso de ECV y no se corroe o dañan fácilmente.

La campana de cuarzo se utiliza junto con el tubo de preservación del calor de cuarzo y el recipiente de cuarzo vertical, y se utiliza principalmente en el proceso epitaxial de producción de chips de circuitos integrados semiconductores. El horno epitaxial generalmente adopta una estructura vertical, con la campana de cuarzo en el exterior del bote de cuarzo vertical y el tubo de preservación del calor de cuarzo como soporte.

Otra aplicación típica de la campana de cuarzo de grado semiconductor en ambientes de alta temperatura: calentar un lote de piezas de ortodoncia a 704 ℃ en 1 segundo en una atmósfera inerte para soldar:

VeTek Semiconductor cuenta con un equipo técnico maduro. No importa qué forma o material de campana de cuarzo de alta pureza necesite, podemos adaptarlo a sus necesidades.

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