Alúmina Cerámica de aspiradora

La alúmina Ceramic Vacuum Chuck es un soporte de oblea para procesos epitaxiales en el procesamiento de semiconductores. Es una herramienta clave para estabilizar las obleas y garantizar un crecimiento uniforme de las capas epitaxiales. Se usa ampliamente en equipos epitaxiales comoMocvdyLPCVD.

Vetek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck juega un papel vital en las etapas de adelgazamiento de obleas y molienda de la fabricación de semiconductores. Estas etapas implican reducir con precisión el grosor delsustrato de obleasPara mejorar la disipación de calor con chip, que es esencial para mejorar la eficiencia y la vida de los dispositivos semiconductores.

Compatible con múltiples tamaños de obleas: Vetek Semiconductor Alúmina Vacuum Ceramic Vacuum Chuck está diseñado para soportar una amplia gama de tamaños de obleas, que incluyen 2, 3, 4, 5, 6, 8 y 12 pulgadas. Esta adaptabilidad lo hace adecuado para una variedad de entornos de producción de semiconductores, asegurando un rendimiento constante y confiable en diferentes tamaños de obleas.

Composición de material superior: La base del chuck alúmina de aspiración de cerámica está hecha de alúmina ultra puro 99.9999% (Al₂O₃), que ofrece una excelente resistencia al ataque químico y la estabilidad térmica. La superficie del fuck está hecha de porosocarburo de silicio (sic). El material cerámico poroso tiene una estructura densa y uniforme, lo que mejora su durabilidad y rendimiento.

Beneficios deTecnología de cerámica porosa：

Pureza y durabilidad del material: Hecho de 99.99% de alúmina pura, nuestro chuck de alúmina de vacío cerámica resiste un ataque químico y ofrece una excelente estabilidad térmica, lo que lo hace ideal para entornos de fabricación extremadamente exigentes.

Porosidad óptima y permeabilidad al aire: Los microporos distribuidos uniformemente proporcionan una excelente permeabilidad al aire y una fuerza de adsorción uniforme, lo que resulta en una operación suave y consistente.

Planitud y paralelismo mejorados: Alúmina microporosa, los chucks de aspiración cerámica tienen una excelente planitud y paralelismo, asegurando un manejo y estabilidad precisos de obleas.

Capacidades de servicio personalizadas: Veteksemi puede proporcionar una variedad de formas personalizables, que incluyen diseños redondos, cuadrados, anillos y otros, con un grosor que varía de 3 mm a 10 mm. Esta personalización garantiza que nuestros chucks de alúmina de aspiración cerámica satisfagan las necesidades específicas de diferentes procesos de fabricación de semiconductores y definitivamente sean su opción ideal.

Vetek Semiconductor se compromete a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos para la industria de semiconductores, y esperamos sinceramente ser su socio a largo plazo en China.

ElFórmula química dealúmina cerámica：

Es semiconductorAlúmina Ceramic Vacuum Chuck Shops: