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Solicitud: 

Un fuck de vacío de alta eficiencia creado para la adsorción precisa y la fijación firme de obleas y lingotes. Está bien, adecuado para situaciones que incluyen fabricación de semiconductores, corte de obleas, procesamiento de precisión, epitaxia de alta temperatura, grabado e implantación de iones.

Parámetros del núcleo:

● Porosidad ajustable (que oscila entre 10 y 200 μm).
● Capaz de resistir las altas temperaturas ultra (hasta ≤1600 ° C) y mostrar una excelente resistencia al choque térmico.
● Vacío de adsorción: el estándar es - 90KPA (personalizable para alcanzar 100kPa).

● Dimensiones de la copa de succión: puede admitir obleas de 4/6/8/12 - pulgadas, y el tamaño del lingote se puede adaptar de acuerdo con necesidades específicas.

Ⅰ. Descripción

Veteksemicon Ceramic Vacuum Chuck utiliza una estructura combinada de cerámica porosa y un anillo exterior de metal. A través del diseño personalizado de canales aéreos y poros, se da cuenta de una distribución uniforme de la fuerza de adsorción y alta estabilidad. Este fuck se ajusta para la fabricación de semiconductores, corte de obleas, procesamiento de precisión, etc. Puede funcionar en configuraciones de movimiento de alta temperatura y alta velocidad y cumple con los requisitos de compatibilidad de obleas/lingotes en diferentes tamaños.

Ⅱ. Estructura del núcleo y ventajas de material

Diseño compuesto de múltiples capas:

✔ Capa superficial: Hecho de cerámica porosa (puede elegir entre carburo de silicio poroso o grafito poroso). El diámetro de poro se puede ajustar (10 - 200 μm), lo que garantiza que la fuerza de adsorción se transfiera uniformemente a la superficie de la oblea, evitando así la construcción de estrés local.

✔ Matriz: Compuesto por un marco de metal altamente rígido (ya sea acero inoxidable o aleación de aluminio) para ofrecer soporte estructural y atracción.

✔ Airpías y poros: Las vías respiratorias internas mecanizadas con precisión forman una red, junto con microporos espaciados uniformemente. Esta configuración admite una extracción rápida de vacío (la fuerza de adsorción puede alcanzar hasta - 90 kPa) y la liberación instantánea.

Ⅲ . Comparación de MAcaracterísticas teriales

1. Comparación de propiedades del material

2. Escenarios y casos de aplicación

✔ Fabricatio de semiconductores

Crecimiento epitaxial: puede adsorbar firmemente las obleas a altas temperaturas, evitando que las obleas se deforman y se contaminen.

Litografía y grabado: permite un posicionamiento preciso en plataformas de movimiento de alta velocidad (aceleración ≤10g), asegurando la precisión de la alineación gráfica.

✔ Procesamiento de lingote

Corte y molienda: puede adsorbir lingotes pesados ​​(como zafiro y silicio - lingotes de carburo), reduciendo el agrietamiento del borde debido a la vibración.

✔ Investigación científica y tecnologías especiales

Recocido a alta temperatura: silicio poroso: las tazas de succión de carburo pueden funcionar continuamente a 1600 ° C sin deformación o contaminación de ventilación.

Recubrimiento de vacío: con un diseño alto de aire -tensura, puede adaptarse al entorno de cavidad PVD/CVD.

3. Servicio personalizado

✔ Ofrecemos personalización para el tamaño y la carga.

✔ Los estomas y la vía aérea se pueden optimizar para cumplir con los requisitos específicos.

✔ Se puede adaptar a entornos especiales.

Ⅳ. Preguntas frecuentes:

¿Cómo logran la compatibilidad de la oblea de múltiples tamaños (por ejemplo, 18/12/6 ")?

P: ¿Cómo se ajusta una sola oblea de 12 pulgadas, 8 pulgadas y 6 pulgadas al mismo tiempo? ¿Es necesaria la reestructuración física?

A:Compatibilidad multidimensional a través de la vía aérea adaptativa y la partición estomática:

✔ Control estomático dinámico: Los estomas en la superficie de la ventosa se distribuyen en un área de anillo, y el circuito de aire en diferentes áreas está controlado por una válvula externa.

Por ejemplo, al absorber una oblea de 8 pulgadas, solo los poros en el área central están habilitados y los poros externos están cerrados (para evitar la fuga de la fuerza de adsorción).

✔ Diseño de vías respiratorias flexibles: La red de puertos tiene un diseño modular que coincide con los perfiles de borde de obleas de diferentes tamaños para garantizar una cobertura de fuerza de adsorción uniforme. y Las ventajas son como siguientes:

Reemplazo de hardware cero: no es necesario eliminar o reemplazar la copa de succión, a través del software o el interruptor de la válvula de gas se pueden adaptar a diferentes tamaños.

Ahorro de costos: reduzca los costos de renovación de equipos y el tiempo de inactividad, y aumente la flexibilidad de la línea de producción.