Fuck electrostático de cerámica

Los procesos de producción de semiconductores, especialmente el procesamiento de obleas, se llevan a cabo en un entorno de vacío, y los obleas de sujeción mecánica llevan 

ciertos riesgos. Cuando la fuerza se concentra en el punto de sujeción, las obleas de silicio frágiles pueden arrojar pequeños fragmentos, causando daños graves a la producción de obleas.

En este caso, el fuck electrostático cerámico se convierte en una mejor opción, que fija la oblea por fuerza electrostática. La fuerza electrostática actúa uniformemente en la oblea, por lo que la oblea se puede fijar rotundamente, mejorando la precisión del proceso.

Según los documentos de investigación relevantes, el fuck electrostático cerámico tiene una succión más fuerte que otros fucks electrostáticos. Por ejemplo, el fuck electrostático de cerámica tiene una succión mucho más fuerte que el fuck electrostático de la película PET.

Ceramics Chuck generalmente está hecho de materiales cerámicos de alto rendimiento como Al2O3, ALN o SIC, que tiene alta resistencia al calor, aislamiento y resistencia a la corrosión. El chuck de cerámica SIC poroso no solo es estable a temperaturas extremas, sino que también evita efectivamente que la colección electrónica de cerámica se degrade debido a los reactivos químicos y el grabado en plasma durante el proceso de fabricación.

Control de temperatura: La alta conductividad térmica y las propiedades térmicas estables de los materiales cerámicos permiten el testamento de vacío cerámica de alúmina para controlar efectivamente la temperatura, optimizando así la distribución de la temperatura durante el proceso.

Adaptabilidad al vacío: Ceramic Electrostatic Chuck es adecuado para ambientes de vacío, especialmente en procesos de grabado de baja presión y alta precisión.

Generación de partículas baja: La cerámica de cerámica SIC porosa tiene una superficie lisa, que puede reducir la contaminación de partículas durante la fijación de la oblea y ayudar a mejorar el rendimiento del producto.

Aplicación: Se utiliza principalmente en la fabricación de semiconductores, el fuck electrostático de cerámica desmontable que proporciona posicionamiento y estabilidad precisos, lo cual es muy útil para la litografía, el grabado y otros procesos de fabricación de procesamiento de obleas de semiconductores. Asegúrese de que la oblea esté intacta durante el procesamiento y mejore la calidad de la producción de chips.

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