Efector final de manejo de obleas

El efector del extremo de manejo de obleas es un tipo de robot a mano diseñado específicamente para la industria de semiconductores, generalmente utilizado para manejar y transferirobleas. El entorno de producción de las obleas requiere una limpieza extremadamente alta, porque las pequeñas partículas o los contaminantes pueden hacer que las papas fritas fallaran durante el procesamiento. 

Los materiales cerámicos se utilizan ampliamente en la fabricación de estas manos debido a sus excelentes propiedades físicas y químicas.

Pureza y composición

La pureza de la alúmina suele ser ≥99.9%, y las impurezas metálicas (como MgO, CAO, SiO₂) se controlan dentro del 0.05% a 0.8% para mejorar la resistencia al grabado en plasma.

La alúmina de fase α (estructura de corundum) es la principal, el tipo de cristal es estable, la densidad es de 3.98 g/cm³ y la densidad real después de la sinterización es 3.6 ~ 3.9 g/cm³.

Propiedad mecánica

Dureza: Dureza de Mohs 9 ~ 9.5, Dureza de Vickers 1800 ~ 2100 HV, más alto que el acero y la aleación de acero inoxidable.

Fuerza de flexión: 300 ~ 400 MPa, que puede soportar la tensión mecánica del manejo de alta velocidad de la oblea.

Módulo elástico: 380 ~ 400 GPA, para garantizar que el brazo de manejo sea rígido y no sea fácil de deformarse.

Propiedades térmicas y eléctricas

Conductividad térmica: 20 ~ 30 w/(m · k), todavía mantiene aislamiento estable (resistividad> 10¹⁴ Ω · cm).

Resistencia a la temperatura: La temperatura de uso a largo plazo puede alcanzar 850 ~ 1300 ℃, adecuado para el entorno de altas temperaturas al vacío.

Característica de la superficie

Aspereza de la superficie: Ra≤ 0.2 μm (después del pulido) para evitar rasguños de obleas

Porosidad de adsorción de vacío: Estructura hueca lograda por prensado isostático, porosidad <0.5%.

Segundo, características de diseño estructural

Optimización liviana y de fuerza

Usando un proceso de moldeo integrado, el peso es solo 1/3 del brazo metálico, reduciendo el error de posicionamiento causado por la inercia.

El efector final está diseñado como una pinza o absorbente de vacío, y la superficie de contacto está recubierta con un recubrimiento antiestático para evitar que la oblea contamine el 710 por adsorción electrostática.

Resistencia a la contaminación

La alúmina de alta pureza es químicamente inerte, no libera iones metálicos y cumple con el estándar de limpieza semi F47 (contaminación de partículas <10 ppm).

Tercero, requisitos del proceso de fabricación

Formando y sinterizando

Presionamiento isostático (presión 200 ~ 300 MPa) para garantizar la densidad del material> 99.5%.

Sinterización de alta temperatura (1600 ~ 1800 ℃), control del tamaño de grano en 1 ~ 5 μm para equilibrar la resistencia y la tenacidad.

Mecanizado de precisión

Procesamiento de molienda de diamantes, precisión dimensional ± 0.01 mm, planitud ≤ 0.05 mm/m

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