Mocvd Epitaxial Wafer proporcionando

El susceptor de obleas epitaxiales de MOCVD es un susceptor de obleas epitaxial de alto rendimiento diseñado para equipos MOCVD (deposición de vapor químico de metal-orgánico). El susceptor está hecho de material de grafito SGL y recubierto con recubrimiento de carburo de silicio, que combina la alta conductividad térmica del grafito con la excelente resistencia a alta temperatura y corrosión de SIC, y es adecuada para el entorno de trabajo duro de alta temperatura, alta presión y gas corrosivo durante el crecimiento epitaxial de los semiconductores.

El material de grafito SGL tiene una excelente conductividad térmica, lo que garantiza que la temperatura de la oblea epitaxial se distribuya uniformemente durante el proceso de crecimiento y mejora la calidad de la capa epitaxial. El recubrimiento SIC recubierto permite al susceptor a soportar altas temperaturas de más de 1600 ℃ y adaptarse al entorno térmico extremo en el proceso MOCVD. Además, el recubrimiento SIC puede resistir efectivamente los gases de reacción de alta temperatura y la corrosión química, extender la vida útil del susceptor y reducir la contaminación.

El susceptor de obleas epitaxial MOCVD de Veteksemi se puede utilizar como reemplazo de accesorios de proveedores de equipos MOCVD como Aixtron.

● Tamaño: Se puede personalizar de acuerdo con las necesidades del cliente (tamaño estándar disponible).

● Capacidad de carga: Pueden transportar múltiples o incluso más de 50 obleas epitaxiales a la vez (dependiendo del tamaño del susceptor).

● Tratamiento de superficie: Recubrimiento SIC, resistencia a la corrosión, resistencia a la oxidación.

● Industria de semiconductores: Utilizado para el crecimiento de obleas epitaxiales como LED, diodos láser y semiconductores de potencia.

● Industria optoelectrónica: Apoya el crecimiento epitaxial de dispositivos optoelectrónicos de alta calidad.

● Investigación y desarrollo de materiales de alta gama: Aplicado a la preparación epitaxial de nuevos semiconductores y materiales optoelectrónicos.

Dependiendo del tipo de equipo MOCVD del cliente y las necesidades de producción, Vetek Semiconductor proporciona servicios personalizados, que incluyen tamaño de susceptor, material, tratamiento de superficie, etc., para garantizar que se proporcione la solución más adecuada a los clientes.

Estructura cristalina de película sic cvd

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD

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