Portador de oblea para VEECO MOCVD (Epitaxia LED)

Características del producto:

1. Base de grafito de alta pureza con una densa capa de SiC CVD
2. Buena uniformidad térmica para una epitaxia LED estable
3. Resiste NH₃, HCl y otros gases corrosivos utilizados en el proceso.
4. Baja emisión de partículas y larga vida útil
5. Los diseños de bolsillo se pueden personalizar para diferentes tamaños de oblea y plataformas de reactor.
6. Funciona bien para el funcionamiento MOCVD a alta temperatura y a largo plazo

Aplicaciones:
Estos portadores de obleas se utilizan ampliamente en LED y epitaxia de semiconductores compuestos, entre ellos:

• Epitaxia LED de GaN
• Epitaxia LED azul-verde
• Crecimiento profundo de LED UV
• Epitaxia de GaN basada en Si
• Fabricación general de semiconductores compuestos.

Las soluciones de soporte personalizadas se adaptan a múltiples plataformas LED MOCVD, como:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Ventajas técnicas:

1. Recubrimiento CVD SiCTecnología que te brinda buena densidad y pureza.
2. La variación del espesor del recubrimiento se mantiene dentro de ±10 μm: ayuda a que el rendimiento térmico se mantenga estable
3. Mecanizado CNC con una precisión de hasta 3 μm para un buen ajuste de la oblea y estabilidad de rotación
4. El recubrimiento se adhiere bien y resiste el agrietamiento después de ciclos repetidos de MOCVD a alta temperatura.
5. Maneja NH₃, HCl y otros ambientes hostiles de epitaxia sin problemas
6. Baja generación de partículas y superficie limpia para soportar un alto rendimiento.epitaxia LED
7. Puede recubrir tamaños grandes o personalizados para diferentes plataformas de reactores y diseños de obleas.
8. Larga experiencia conPiezas personalizadas recubiertas de grafito y SiC.para LED y epitaxia de semiconductores compuestos

Preguntas frecuentes:
1. ¿Qué hace un portaobleas enMOCVD¿Epitaxia LED?

R: Sostiene y rota las obleas dentro del reactor MOCVD y ayuda a mantener la temperatura estable durante el crecimiento epitaxial.

2. ¿Por qué utilizar soportes de obleas de grafito recubiertos de SiC para MOCVD?

R: ElRecubrimiento CVD SiCProporciona una mejor resistencia a la corrosión, estabilidad térmica y durabilidad. También ayuda a reducir la contaminación por partículas en la epitaxia a alta temperatura.

3. ¿Vetek Semiconductor fabrica soportes de obleas personalizados?
R: Sí. Podemos diseñar soportes personalizados según la plataforma de su reactor, el tamaño de la oblea, el diseño del bolsillo y otras necesidades del proceso.