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Tac recubierto de chuck
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Tac recubierto de chuck

Con su alta resistencia a la temperatura, la inercia química y el excelente rendimiento, los fucks recubiertos con TAC de Vetek Semiconductor están diseñados para hornos de semiconductores. Creemos que nuestros productos pueden brindarle tecnología avanzada y soluciones de productos de calidad.

Vetek Semiconductor es un líder profesional con recubrimiento con recubrimiento de Tac, tubo recubierto de TAC, soporte recubierto de TAC, fabricante de bandejas de grafito recubiertas de TAC con alta calidad y precio razonable. Bienvenido a contactarnos.

Los fucks recubiertos con TAC de Vetek Semiconductor son una parte integral de los componentes de alto rendimiento en la fabricación de semiconductores. Depende de las siguientes características clave:


Alta integridad del vacío: El Chuck recubierto de TAC mantiene un alto nivel de integridad del vacío a lo largo de todo el ciclo de procesamiento, reduciendo efectivamente la desgasificación y la contaminación, asegurando la pureza y la calidad de los materiales semiconductores.

Alta temperatura y resistencia química: El recubierto de TAC es extremadamente resistente térmica y químicamente, capaz de operar a temperaturas de hasta 2200 ° C y resistir gases corrosivos como hidrógeno, amoníaco y vapor de silicio.

Vida de equipo extendido: Debido a su resistencia superior al desgaste y al choque térmico, el chuck recubierto de TAC puede extender significativamente la vida útil del equipo y reducir la necesidad de mantenimiento.

Mejora eficiencia de producción: Al reducir la contaminación y mejorar la pureza del material, el Chuck recubierto de TAC ayuda a mejorar la eficiencia de producción y la calidad del producto, y a reducir los costos de producción.


Además, el fuck de recubrimiento TAC exhibe una excelente versatilidad y puede acomodar una amplia gama de tamaños de sustrato y geometrías semiconductores. Su diseño personalizable permite que los fucks recubiertos de TAC se integren perfectamente en los sistemas de horno de semiconductores existentes, reduciendo significativamente el tiempo de inactividad y maximizando la productividad. Esta flexibilidad no solo mejora la compatibilidad del equipo, sino que también garantiza la continuidad y la eficiencia del proceso de producción, proporcionando a los fabricantes de semiconductores soluciones confiables y eficientes.

Las ventajas de rendimiento y adaptabilidad de los fechas de revestimiento TAC del semiconductor de Vetek los convierten en un componente esencial y crítico en la fabricación de semiconductores.

Parámetro del producto del chuck recubierto de TAC:

Propiedades físicas del recubrimiento TAC
Densidad de recubrimiento TAC
14.3 (g/cm³)
Emisividad específica
0.3
Coeficiente de expansión térmica 6.3*10-6/K
Dureza de recubrimiento TAC (HK)
2000 HK
Resistencia
1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidad térmica
<2500 ℃
Cambios de tamaño de grafito
-10 ~ -20um
Espesor de revestimiento
≥20um valor típico (35um ± 10um)


Tiendas de producción:

VeTek Semiconductor Production Shop


Descripción general de la cadena industrial de epitaxia de chip de semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

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