Anillo de sellado recubierto de SIC para epitaxia

Ⅰ. ¿Qué es el anillo de sello recubierto de SIC?

El anillo de sello recubierto de SIC (anillo de sello recubierto de carburo de silicio) es un componente de sellado de precisión diseñado para entornos de procesos semiconductores altamente corrosivos de alta temperatura y altamente corrosivos. Su núcleo es a través del proceso de depósito de vapor químico (CVD) o depósito de vapor físico (PVD), la superficie del sustrato de material compuesto de grafito o de carbono cubierto uniformemente con una capa de recubrimiento de carburo de silicio de alta puridad (SIC), la formación de la resistencia mecánica de la resistencia del sustrato y el recubrimiento de las propiedades de sellado de alta rendimiento.  

Ⅱ. Composición del producto y tecnología central  

1. Material de sustrato:

Material compuesto de grafito o carbono-carbono: El material base tiene la ventaja de una alta resistencia al calor (puede soportar más de 2000 ℃) y un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que garantiza la estabilidad dimensional en condiciones extremas como la alta temperatura.  

Estructura de mecanizado de precisión: El diseño del anillo de precisión se puede adaptar perfectamente a la cavidad de los equipos de semiconductores, asegurando así la planitud de la superficie de sellado y la buena atracción.  

2. Recubrimiento funcional:  

Recubrimiento SIC de alta pureza (pureza ≥99.99%): El grosor del coaing suele ser de 10-50 μm, a través del proceso de CVD para formar una capa de estructura de superficie no porosa densa, dando a la superficie del anillo de sellado excelente inercia química y propiedades mecánicas.

Ⅲ. Propiedades y ventajas físicas centrales

Los anillos de sellado recubiertos de SIC de Veteksemicon son ideales para los procesos de epitaxia de semiconductores debido a su excelente rendimiento en condiciones extremas. A continuación se muestran las propiedades físicas específicas del producto:

IV. Aplicaciones centrales en procesamiento de epitaxia de semiconductores  

El anillo de sellado recubierto de SIC se usa principalmente en MOCVD (deposición de vapor químico orgánico metálico) y MBE (epitaxia de haz molecular) y otros equipos de proceso, las funciones específicas incluyen:  

1.

Nuestros anillos de sellado recubiertos de SIC aseguran que las tolerancias dimensionales (generalmente dentro de ± 0.01 mm) de la interfaz con la cámara del equipo (por ejemplo, brida, eje base) sean lo más pequeñas posible personalizando la estructura del anillo. 

Al mismo tiempo, el anillo de sellado se mecaniza con precisión utilizando máquinas de máquinas CNC para garantizar un ajuste uniforme alrededor de toda la circunferencia de la superficie de contacto, eliminando las brechas microscópicas. Esto evita efectivamente la fuga de gases de proceso (por ejemplo, H₂, NH₃), garantiza la pureza del entorno de crecimiento de la capa epitaxial y mejora el rendimiento de la oblea.  

Por otro lado, la buena opresión del gas también puede bloquear la intrusión de contaminantes externos (O₂, H₂O), evitando así efectivamente defectos en la capa epitaxial (como dislocaciones, dopaje desigual de impurezas).  

2. Soporte de sellado dinámico de alta temperatura  

Adoptando el principio de la anti-deformación sinérgica de recubrimiento por sustrato: debido al bajo coeficiente de expansión térmica del sustrato de grafito (CTE ≈ 4.5 × 10-⁶/° C) es muy pequeño, y a altas temperaturas extremas (＞ 1000 ℃) la expansión de la expansión es solo 1/5 de la cantidad de sellados metálicos, evitando así la superficie de sellado causada por el sellado de la superficie. Combinado con la dureza ultra alta del recubrimiento SIC (HV2500 o más), puede resistir efectivamente los rasguños en la superficie de sellado causado por la vibración mecánica o el impacto de las partículas, y mantener la planitud microscópica.

V. Recomendaciones de mantenimiento

1. Regularmente el desgaste de la superficie de sellado (se recomienda la inspección trimestral del microscopio óptico) para evitar una falla repentina.  

2.Use limpiadores especiales (como etanol anhidro) para eliminar los depósitos, prohibir la molienda mecánica para evitar daños al recubrimiento SIC.