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CVD SIC Grafito Cilindro
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CVD SIC Grafito Cilindro

El cilindro CVD SIC de grafito CVD de Vetek Semiconductor es fundamental en el equipo de semiconductores, que sirve como un escudo protector dentro de los reactores para proteger los componentes internos en configuraciones de alta temperatura y presión. Se protege efectivamente contra productos químicos y calor extremo, preservando la integridad del equipo. Con un desgaste excepcional y resistencia a la corrosión, garantiza la longevidad y la estabilidad en entornos desafiantes. La utilización de estas cubiertas mejora el rendimiento del dispositivo de semiconductores, prolonga la vida útil y mitiga los requisitos de mantenimiento y los riesgos de daños.

El cilindro CVD Sic Graphito de Vetek Semiconductor juega un papel importante en los equipos de semiconductores. Por lo general, se usa como una cubierta protectora dentro del reactor para proporcionar protección para los componentes internos del reactor en entornos de alta temperatura y alta presión. Esta cubierta protectora puede aislar efectivamente los productos químicos y las altas temperaturas en el reactor, evitando que causen daños al equipo. Al mismo tiempo, el cilindro CVD SIC Graphite también tiene una excelente resistencia al desgaste y a la corrosión, lo que lo hace capaz de mantener la estabilidad y la durabilidad a largo plazo en entornos de trabajo duros. Mediante el uso de cubiertas protectoras hechas de este material, se puede mejorar el rendimiento y la confiabilidad de los dispositivos semiconductores, extendiendo la vida útil del dispositivo al tiempo que reduce las necesidades de mantenimiento y el riesgo de daños.


CVD SIC Grafito El cilindro se usa ampliamente en equipos de semiconductores, que cubre las siguientes áreas clave:


Equipo de tratamiento térmico

Sirve como una cubierta protectora o un escudo térmico en el equipo de tratamiento térmico. Esto no solo protege los componentes internos del daño a la alta temperatura, sino que también cuenta con una excelente resistencia a la temperatura alta.


Reactores de deposición de vapor químico (CVD)

En los reactores CVD, actúa como una cubierta protectora para la cámara de reacción química. Aisla efectivamente las sustancias de reacción y ofrece una buena resistencia a la corrosión.


Entornos corrosivos

Gracias a su excepcional resistencia a la corrosión, el cilindro CVD SIC Graphite se puede utilizar en entornos químicamente corrosivos durante la fabricación de semiconductores, como entornos con gases o líquidos corrosivos.


Equipo de crecimiento de semiconductores

Funciona como cubiertas protectoras u otros componentes en los equipos de crecimiento de semiconductores. Al proteger el equipo de altas temperaturas, corrosión química y desgaste, asegura la estabilidad del equipo y la confiabilidad a largo plazo.


Caracterizado por la estabilidad de alta temperatura, la resistencia a la corrosión, las excelentes propiedades mecánicas y una buena conductividad térmica, el cilindro de grafito SIC CVD facilita la disipación de calor más eficiente en los dispositivos semiconductores, manteniendo así la estabilidad y el rendimiento del dispositivo.




Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD:

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE

Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad Valor típico
Estructura cristalina Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Densidad 3.21 g/cm³
Dureza 2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano 2 ~ 10 mm
Pureza química 99.99995%
Capacidad de calor 640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación 2700 ℃
Resistencia a la flexión 415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica 300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE) 4.5 × 10-6K-1


Tiendas de producción:

VeTek Semiconductor Production Shop


Descripción general de la cadena industrial de la epitaxia de chip de semiconductores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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