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Carburo de silicio sólido

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Anillo de enfoque de grabado de SiC sólido

Anillo de enfoque de grabado de SiC sólido

El anillo de enfoque de grabado SIC sólido es uno de los componentes centrales del proceso de grabado de la oblea, que juega un papel en la fijación de la oblea, enfoque el plasma y la mejora de la uniformidad de grabado de la oblea. Como el principal fabricante de anillos de enfoque SIC en China, Vetek Semiconductor tiene tecnología avanzada y procesos maduros, y fabrica un anillo de enfoque de grabado SIC sólido que satisface completamente las necesidades de los clientes finales de acuerdo con los requisitos del cliente. Esperamos con ansias su consulta y convirtiéndonos en los socios a largo plazo del otro.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Como fabricante y proveedor profesional Carburo de silicio sólido en China, tenemos nuestra propia fábrica. Ya sea que necesite servicios personalizados para satisfacer las necesidades específicas de su región o desee comprar Carburo de silicio sólido avanzado y duradero realizados en China, puede dejarnos un mensaje.
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