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Carburo de silicio sólido

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Cabezal de ducha de grafito recubierto de CVD Sic

Cabezal de ducha de grafito recubierto de CVD Sic

El cabezal de ducha de grafito recubierto de CVD de Veteksemicon es un componente de alto rendimiento diseñado específicamente para procesos de deposición de vapor químico semiconductor (CVD). Fabricado a partir de grafito de alta pureza y protegido con un recubrimiento de carburo de silicio (SIC) de depósito de vapor químico (CVD), esta cabeza de ducha ofrece una excepcional durabilidad, estabilidad térmica y resistencia a los gases de proceso corrosivos. Esperamos su consulta adicional.
Anillo de borde sic

Anillo de borde sic

Anillos de borde SIC de alta pureza de Veteksemicon, especialmente diseñados para equipos de grabado de semiconductores, cuentan con una resistencia de corrosión sobresaliente y estabilidad térmica, mejorando significativamente el rendimiento de la oblea
Materia prima CVD SIC de alta pureza

Materia prima CVD SIC de alta pureza

La materia prima CVD SIC de alta pureza preparada por CVD es el mejor material fuente para el crecimiento del cristal de carburo de silicio mediante el transporte de vapor físico. La densidad de la materia prima CVD SIC de alta pureza suministrada por el semiconductor Vetek es mayor que la de las pequeñas partículas formadas por la combustión espontánea de SI y gases que contienen C, y no requiere un horno de sinterización dedicado y tiene una tasa de evaporación casi constante. Puede cultivar cristales simples de SIC de extremadamente alta calidad. Esperando su consulta.
Transportista sólido de obleas sic

Transportista sólido de obleas sic

El portador sólido de obleas SIC del semiconductor de Vetek está diseñado para entornos resistentes a la alta temperatura y corrosión en procesos epitaxiales semiconductores y es adecuado para todos los tipos de procesos de fabricación de obleas con requisitos de alta pureza. Vetek Semiconductor es un proveedor líder de transportistas de obleas en China y espera convertirse en su socio a largo plazo en la industria de los semiconductores.
Cabezal de ducha sólido en forma de disco

Cabezal de ducha sólido en forma de disco

Vetek Semiconductor es un fabricante de equipos de semiconductores líderes en China y un fabricante profesional y proveedor de cabezales de ducha sólidos en forma de disco SIC. El cabezal de ducha de la forma del disco se usa ampliamente en la producción de deposición de películas delgadas, como el proceso de CVD para garantizar la distribución uniforme del gas de reacción y es uno de los componentes centrales del horno CVD.
Parte de sellado de sic

Parte de sellado de sic

Como un fabricante de productos y fábrica de productos de sellado SIC avanzado en China. La parte de sellado de vetek semiconducto es un componente de sellado de alto rendimiento ampliamente utilizado en el procesamiento de semiconductores y otros procesos extremos de alta temperatura y alta presión. Dé la bienvenida a su consulta adicional.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


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