Cabeza de ducha sic

Vetek Semiconductor ofrece un cabezal avanzado de ducha SIC a la industria de semiconductores. Los materiales de carburo de silicio tienen una combinación única de excelentes propiedades térmicas, eléctricas y químicas, lo que los hace ideales para aplicaciones en la industria de semiconductores donde se requieren materiales de alto rendimiento. Vetek Semiconductor tiene una larga experiencia acumulada en tecnología SIC sólida CVD. La tecnología revolucionaria del semiconductor de Vetek permite la producción de cabeza de ducha SIC, un material de carburo de silicio de pureza ultra alta creado a través del proceso de deposición de vapor químico.

El cabezal de ducha SIC es un componente crucial en la fabricación de semiconductores, diseñado específicamente para sistemas MOCVD, epitaxia de silicio ySicprocesos de epitaxia. Hecho de robustoCarburo de silicio sólido (SIC), este componente puede soportar las condiciones extremas de procesamiento de plasma y aplicaciones de alta temperatura.

Carburo de silicio (sic)es conocido por su alta conductividad térmica, resistencia a la corrosión química y una resistencia mecánica excepcional, lo que lo convierte en un material ideal para componentes de SIC a granel como el cabezal de la ducha SIC. El cabezal de la ducha de gas garantiza una distribución uniforme de los gases de proceso sobre la superficie de la oblea, lo cual es esencial para producir capas epitaxiales de alta calidad. Los anillos de enfoque y los anillos de borde, a menudo hechos de CVD-SIC, mantienen una distribución de plasma uniforme y protegen a la cámara de la contaminación, mejorando la eficiencia y el rendimiento del crecimiento epitaxial.

Con su control de flujo de gas preciso y sus propiedades de material sobresalientes, el cabezal de ducha SIC es un componente clave en el procesamiento moderno de semiconductores, que admite aplicaciones avanzadas en epitaxia de silicio y epitaxia SIC.

El semiconductor Vetek ofrece un cabezal de ducha de semiconductores de carburo de silicio de baja resistividad. Tenemos la capacidad de ingeniería personalizada y suministroMateriales cerámicos avanzadosUtilizando una variedad de capacidades únicas.