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Cabezal de ducha sic cvd
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Cabezal de ducha sic cvd

Vetek Semiconductor es un principal fabricante e innovador de la cabeza de ducha CVD SIC en China. Hemos sido especializados en material SIC durante muchos años. CVD SIC La cabeza de la ducha se elige como material de anillo de enfoque debido a su excelente estabilidad termoquímica, alta resistencia mecánica y resistencia a la erosión plasmática. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

Puede tener la seguridad de comprar CVD Sic Sic Head de nuestra fábrica. Vetek Semiconductor CVD SIC La cabeza de la ducha de Sic está hecho deCarburo de silicio sólido (SIC)Uso de técnicas avanzadas de deposición de vapor químico (CVD). SIC se elige por su conductividad térmica excepcional, resistencia química y resistencia mecánica, ideal para componentes SIC de gran volumen como el cabezal de ducha CVD SIC.

CVD SiC Shower Head

Rendimiento y ventajas del producto:

Diseñado para la fabricación de semiconductores, el cabezal de ducha SIC CVD soporta altas temperaturas y procesamiento de plasma. Su control de flujo de gas preciso y su propiedades superiores del material aseguran procesos estables y confiabilidad a largo plazo. El uso de CVD SIC mejora el manejo térmico y la estabilidad química, mejorando la calidad y el rendimiento del producto semiconductor.


Abordar las necesidades del cliente:

El cabezal de la ducha SIC CVD mejoracrecimiento epitaxialEficiencia mediante la distribución de gases de proceso de manera uniforme y salvaguardando la cámara de la contaminación. Resuelve efectivamente los desafíos de fabricación de semiconductores, como el control de la temperatura, la estabilidad química y la consistencia del proceso, proporcionando soluciones confiables a los clientes.


Escenarios de aplicación:

Utilizado en sistemas MOCVD,SI Epitaxy, yEpitaxia sic, El cabezal de ducha CVD SIC admite la producción de dispositivos de semiconductores de alta calidad. Su papel crítico garantiza un control y estabilidad de proceso precisos, cumpliendo con diversos requisitos del cliente para productos confiables y de alto rendimiento.


Parámetro del producto del cabezal de ducha CVD SIC:

Propiedades físicas deSic sólido
Densidad 3.21 g/cm3
Resistividad de la electricidad 102 Ω/cm
Resistencia a la flexión 590 MPA (6000 kgf/cm2)
Módulo de Young 450 GPA (6000 kgf/mm2)
Dureza de Vickers 26 GPA (2650kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000 ℃) 4.0 X10-6/K
Conductividad térmica (RT) 250 W/mk


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