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Transportista sólido de obleas sic
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Transportista sólido de obleas sic

El portador sólido de obleas SIC del semiconductor de Vetek está diseñado para entornos resistentes a la alta temperatura y corrosión en procesos epitaxiales semiconductores y es adecuado para todos los tipos de procesos de fabricación de obleas con requisitos de alta pureza. Vetek Semiconductor es un proveedor líder de transportistas de obleas en China y espera convertirse en su socio a largo plazo en la industria de los semiconductores.

El portador de obleas SIC sólidas es un componente fabricado para el entorno de alta temperatura, alta presión y corrosiva del proceso epitaxial semiconductora, y es adecuado para varios procesos de fabricación de obleas con requisitos de alta pureza. 


El portador de oblea SIC sólido cubre el borde de la oblea, protege la oblea y la coloca con precisión, asegurando el crecimiento de capas epitaxiales de alta calidad. Los materiales SIC se utilizan ampliamente en procesos como la epitaxia de fase líquida (LPE), la deposición de vapor químico (CVD) y el depósito de vapor orgánico metálico (MOCVD) debido a su excelente estabilidad térmica, resistencia a la corrosión y una pendiente de conductividad térmica sobresaliente. El portador de obleas SIC sólido de Vetek Semiconductor se ha verificado en múltiples entornos hostiles y puede garantizar efectivamente la estabilidad y la eficiencia del proceso de crecimiento epitaxial de la oblea.


Vapor-phase epitaxial growth method


El portador de obleas sic sólidoCaracterísticas del producto


● Estabilidad de temperatura ultra altaLos portadores de obleas SIC sólidas pueden permanecer estables a temperaturas de hasta 1500 ° C y no son propensos a la deformación o agrietamiento.


● Excelente resistencia a la corrosión químicaUtilizando materiales de carburo de silicio de alta pureza, puede resistir la corrosión de una variedad de productos químicos que incluyen ácidos fuertes, álcalis fuertes y gases corrosivos, que extiende la vida útil del portador de la oblea.

● Conductividad térmica altaLos portadores de obleas SIC sólidas tienen una excelente conductividad térmica y pueden dispersar el calor de manera rápida y uniforme durante el proceso, ayudando a mantener la estabilidad de la temperatura de la oblea y mejorar la uniformidad y la calidad de la capa epitaxial.


● Generación de partículas bajaLos materiales SIC tienen una característica natural de generación de partículas, lo que reduce el riesgo de contaminación y puede cumplir con los requisitos estrictos de la industria de los semiconductores para una alta pureza.


Especificaciones técnicas:


Parámetro Descripción
Material
Carburo de silicio sólido de alta pureza
Tamaño de oblea aplicable
4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas, 12 pulgadas (personalizable)
Tolerancia a la temperatura máxima
Hasta 1500 ° C
Resistencia química
Resistencia ácida y alcalina, resistencia a la corrosión de fluoruro
Conductividad térmica
250 w/(m · k)
Tasa de generación de partículas
Generación de partículas ultra baja, adecuada para requisitos de alta pureza
Opciones de personalización
El tamaño, la forma y otros parámetros técnicos se pueden personalizar según sea necesario

Por qué elegirEs semiconductor¿Anillo de transportista de sustrato de oblea sic sic?


● Fiabilidad: Después de las pruebas rigurosas y la verificación real por parte de los clientes finales, puede proporcionar soporte a largo plazo y estable en condiciones extremas y reducir el riesgo de interrupción del proceso.


● Materiales de alta calidad: Hecho de los materiales SIC de la más alta calidad, asegúrese de que cada transportista sólido de obleas SIC cumpla con los altos estándares de la industria.


● Servicio de personalización: Apoye la personalización de múltiples especificaciones y requisitos técnicos para satisfacer las necesidades específicas del proceso.


Si necesita más información del producto o para realizar un pedido, contáctenos. Proporcionaremos consultas y soluciones profesionales basadas en sus necesidades específicas para ayudarlo a mejorar la eficiencia de producción y reducir los costos de mantenimiento.


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