Epi de oblea de una sola oblea Graphite Undertaker

Descripción:

El susceptor de grafito de EPI de una sola oblea incluye un conjunto de bandeja de grafito, anillo de grafito y otros accesorios, utilizando una estructura compuesta de recubrimiento de carburo de carburo de silicio de grafito de alta pureza, teniendo en cuenta la estabilidad de alta temperatura, inercia química y uniformidad del campo térmico. Es el componente de rodamiento de núcleo de la hoja epitaxial de alta precisión en la producción en masa.

Innovación de materiales: grafito +recubrimiento SIC

Grafito

● Conductividad térmica ultra alta (> 130 w/m · k), respuesta rápida a los requisitos de control de temperatura, para garantizar la estabilidad del proceso.

● Coeficiente de expansión térmica baja (CTE: 4.6 × 10⁻⁶/° C), reduce la deformación de alta temperatura, prolonga la vida útil.

Recubrimiento sic cvd

● Resistencia a la corrosión. Resistir el ataque por gases de reacción como H₂, HCl y Sih₄. Evita la contaminación de la capa epitaxial mediante la volatilización del material base.

● Densificación de la superficie: La porosidad de recubrimiento es inferior al 0.1%, lo que evita el contacto entre el grafito y la oblea y evita la difusión de las impurezas de carbono.

● Tolerancia a alta temperatura: Trabajo estable a largo plazo en el medio ambiente superior a 1600 ° C, se adapte a la alta demanda de temperatura de la epitaxia SIC.

Diseño de optimización de campo térmico y flujo de aire

Estructura de radiación térmica uniforme

La superficie del susceptor está diseñada con múltiples ranuras de reflexión térmica, y el sistema de control de campo térmico del dispositivo ASM logra uniformidad de temperatura dentro de ± 1.5 ° C (oblea de 6 pulgadas, oblea de 8 pulgadas), lo que garantiza la consistencia y la uniformidad del espesor de la capa epitaxial (fluctuación <3%).

Técnica de dirección aérea

Los orificios de desvío de borde y las columnas de soporte inclinadas están diseñados para optimizar la distribución del flujo laminar del gas de reacción en la superficie de la oblea, reducir la diferencia en la tasa de deposición causada por las corrientes de remolino y mejorar la uniformidad de dopaje.