Así recubrimiento del receptor EPI

Vetek Semiconductor es un fabricante profesional en China para recubrir así EPI realizado.

El episusceptor con revestimiento de SiC de VeTek Semiconductor está hecho de grafito y carburo de silicio. Este producto de revestimiento de SiC utiliza grafito importado, que tiene un rendimiento más estable y una vida útil más larga, y es muy elogiado por nuestros clientes europeos y americanos. Al mismo tiempo, la concentración de susceptor Epi de revestimiento de SiC es inferior a 5 ppm y la uniformidad es muy buena. Después de continuas actualizaciones tecnológicas, VeTek Semiconductor utiliza un nuevo proceso para lograr una buena combinación entre el coeficiente de expansión térmica del revestimiento de SiC y los materiales de grafito.

El susceptor EPI de recubrimiento SIC se usa especialmente en entornos de alta temperatura y corrosivos en equipos de semiconductores. El susceptor de EPI de recubrimiento SIC se usa comúnmente en equipos como Aixtron, especialmente en el proceso de epitaxia ultravioleta profunda (epitaxia DUV), desempeñando un papel clave.

En el proceso de epitaxia ultravioleta profunda (DUV Epitaxy), combinado con la excelente resistencia a altas temperaturas y a la corrosión del SiC Coating Epi Susceptor, el SiC Coating Epi Susceptor generalmente se instala alrededor de la cámara de reacción en el equipo AIXTRON como portador durante el proceso de epitaxia de dañar o contaminar el equipo.

Este susceptor EPI de recubrimiento SIC está diseñado para una epitaxia ultravioleta profunda. Controlamos estrictamente la capa de carburo de silicio, incorporamos la tecnología de la capa de amortiguación para reducir los problemas causados ​​por las diferencias en los coeficientes de expansión térmica entre los recubrimientos de grafito y el carburo de silicio, extendiendo así la vida útil del producto. Actualmente, nuestro producto ha recibido numerosos elogios y es reconocido como uno de los mejores del mercado interno.

Como líder de la industria de productos de recubrimiento de SiC, VeTek Semiconductor brinda servicios de personalización de productos y precios de productos satisfactorios, y espera recibir más consultas.

Datos SEM de CVD SIC Film:

Tiendas de productos de faldón de revestimiento de SiC semiconductor VeTek:

Descripción general de la cadena de la industria de la epitaxia de chips semiconductores: