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Susceptor de barril de grafito recubierto de SIC
  • Susceptor de barril de grafito recubierto de SICSusceptor de barril de grafito recubierto de SIC

Susceptor de barril de grafito recubierto de SIC

El susceptor de barril de grafito de semiconductores Vetek Sic es una bandeja de obleas de alto rendimiento diseñada para procesos de epitaxia de semiconductores, que ofrece una excelente conductividad térmica, resistencia a la alta temperatura y química, una superficie de alta pureza y opciones personalizables para mejorar la eficiencia de la producción. Dé la bienvenida a su investigación adicional.

El susceptor de barril de grafito recubierto de grafito de semiconductores Vetek es una solución avanzada diseñada específicamente para procesos de epitaxia semiconductora, particularmente en reactores LPE. Esta bandeja de obleas altamente eficiente está diseñada para optimizar el crecimiento de los materiales semiconductores, asegurando un rendimiento y confiabilidad superiores en los entornos de fabricación exigentes. 


Los productos de los susceptores de barril de grafito de Veteksemi tienen las siguientes ventajas pendientes


Resistencia a alta temperatura y química: fabricada para resistir los rigores de aplicaciones de alta temperatura, el susceptor de barril recubierto de SIC exhibe una notable resistencia al estrés térmico y la corrosión química. Su recubrimiento SIC protege el sustrato de grafito de la oxidación y otras reacciones químicas que pueden ocurrir en entornos de procesamiento duros. Esta durabilidad no solo extiende la vida útil del producto, sino que también reduce la frecuencia de los reemplazos, contribuyendo a costos operativos más bajos y una mayor productividad.


Conductividad térmica excepcional: una de las características sobresalientes del susceptor de barril de grafito recubierto de SIC es su excelente conductividad térmica. Esta propiedad permite una distribución de temperatura uniforme a través de la oblea, esencial para lograr capas epitaxiales de alta calidad. La transferencia de calor eficiente minimiza los gradientes térmicos, lo que puede conducir a defectos en las estructuras de semiconductores, mejorando así el rendimiento general y el rendimiento del proceso de epitaxia.


Superficie de alta pureza: la PU altaLa superficie de Rity del susceptor de barril recubierto de CVD SIC es crucial para mantener la integridad de los materiales semiconductores que se procesan. Los contaminantes pueden afectar negativamente las propiedades eléctricas de los semiconductores, lo que hace que la pureza del sustrato sea un factor crítico en la epitaxia exitosa. Con sus procesos de fabricación refinados, la superficie recubierta de SIC garantiza una contaminación mínima, promoviendo un crecimiento de cristal de mejor calidad y el rendimiento general del dispositivo.


Aplicaciones en el proceso de epitaxia de semiconductores

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor Working Schematic


La aplicación principal del susceptor de barril de grafito recubierto de SIC se encuentra dentro de los reactores LPE, donde desempeña un papel fundamental en el crecimiento de capas semiconductoras de alta calidad. Su capacidad para mantener la estabilidad en condiciones extremas al tiempo que facilita la distribución óptima del calor lo convierte en un componente esencial para los fabricantes que se centran en dispositivos de semiconductores avanzados. Al utilizar este susceptor, las empresas pueden esperar un mejor rendimiento en la producción de materiales semiconductores de alta pureza, allanando el camino para el desarrollo de tecnologías de vanguardia.


Veteksemi se ha comprometido durante mucho tiempo a proporcionar tecnología avanzada y soluciones de productos a la industria de semiconductores. Los susceptores de barril de grafito recubiertos de grafito de Vetek Semiconductor ofrecen opciones personalizadas adaptadas a aplicaciones y requisitos específicos. Ya sea que esté modificando las dimensiones, mejorar las propiedades térmicas específicas o agregar características únicas para procesos especializados, Vetek Semiconductor se compromete a proporcionar soluciones que satisfagan completamente las necesidades de los clientes. Esperamos sinceramente convertirnos en su socio a largo plazo en China.


Estructura cristalina de película de recubrimiento SIC CVD

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD


Propiedades físicas básicas del recubrimiento SIC CVD
Propiedad
Valor típico
Estructura cristalina
Policristalina de fase β FCC, principalmente (111) orientada
Dudidad de recubrimiento
3.21 g/cm³
Dureza de recubrimiento SIC
2500 Vickers Dureza (500 g de carga)
Tamaño de grano
2 ~ 10 mm
Pureza química
99.99995%
Capacidad de calor
640 j · kg-1· K-1
Temperatura de sublimación
2700 ℃
Resistencia a la flexión
415 MPA RT 4 puntos
Módulo de Young
430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Conductividad térmica
300W · m-1· K-1
Expansión térmica (CTE)
4.5 × 10-6K-1


Vetek semiconductor Sic recubierto de grafito de barril de barril de productores de productores


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