Mandril de vacío de cerámica SiC para oblea

El mandril de vacío cerámico para obleas Veteksemicon sic es un componente central desarrollado específicamente para la fabricación de semiconductores de tercera generación, optimizado para los entornos de procesamiento de alta temperatura y alta presión que experimentan las obleas. Fabricados con materiales cerámicos de alta pureza, mecanizado de precisión y tratamiento de superficie especializado, garantizan un rendimiento estable de retención de vacío y una excelente estabilidad térmica en el exigente proceso de fabricación de semiconductores. Nuestros mandriles de vacío han sido probados en campo por cientos de fabricantes de semiconductores, lo que demuestra un excelente rendimiento en procesos críticos como epitaxia de SiC, implantación de iones y fotolitografía. Abordan eficazmente la deformación de las obleas y los problemas de precisión de posicionamiento causados ​​por la alta dureza del material y las altas temperaturas del proceso.

Información general del producto

Términos comerciales del producto

Solicitud: El mandril de vacío de cerámica Veteksemicon para oblea está hecho de materiales cerámicos de alto rendimiento y mecanizado con precisión para garantizar una superficie ultraplana y una excelente estabilidad térmica. Proporciona soluciones fiables de adsorción de obleas y control de temperatura para procesos como el crecimiento epitaxial, la implantación de iones y la fotolitografía, mejorando eficazmente el rendimiento del proceso y la eficiencia de la producción.

Servicios que se pueden proporcionar: análisis de escenarios de aplicación del cliente, combinación de materiales, resolución de problemas técnicos.

Perfil de la empresa：Veteksemicon cuenta con 2 laboratorios, un equipo de expertos con 20 años de experiencia en materiales, con capacidades de I+D y producción, pruebas y verificación.

Ventajas del portabrocas de vacío cerámico Veteksemicon para núcleos de oblea

 ● Avance en la ciencia de los materiales

mi rival utiliza una formulación de material y un proceso de sinterización únicos para mejorar significativamente la resistencia mecánica y la estabilidad térmica de sus productos mientras mantiene las excelentes propiedades de aislamiento de los materiales cerámicos. Nuestras cerámicas a base de alúmina utilizan materias primas de alta pureza y una formulación de aditivos especiales, lo que garantiza una excelente estabilidad dimensional incluso en entornos de alta temperatura. Nuestras cerámicas a base de carburo de silicio, a través de un proceso de sinterización optimizado, logran una mayor conductividad térmica y una mejor adaptación térmica, lo que las hace particularmente adecuadas para el procesamiento de obleas de SiC a alta temperatura.

 ● Excelente rendimiento de gestión térmica

Nuestro exclusivo diseño multicapa y mecanizado de precisión garantizan que el mandril mantenga una excelente uniformidad térmica incluso en condiciones de funcionamiento a alta temperatura. El mandril de carburo de silicio cuenta con una conductividad térmica superior a 200 W/m·K, lo que permite un rápido equilibrio de temperatura y mantiene las variaciones de temperatura de la superficie de la oblea dentro de ±0,8 °C. Esta capacidad superior de gestión térmica evita eficazmente los defectos del proceso causados ​​por variaciones de temperatura y mejora significativamente el rendimiento del producto.

● Tecnología de mecanizado de ultraprecisión

mi rival cuenta con centros de mecanizado de precisión líderes en China, que utilizan procesos únicos de esmerilado y pulido para lograr una superficie plana submicrónica. Nuestros mandriles de carburo de silicio logran una superficie plana dentro de 0,8 μm, con un valor Ra de rugosidad superficial de no más de 0,1 μm. Esta calidad de superficie de ultraprecisión garantiza un ajuste perfecto entre la oblea y el mandril, proporcionando una referencia plana confiable para procesos de precisión como la fotolitografía.

● Vida útil mejorada

A través de formulaciones de materiales optimizadas y un diseño estructural reforzado, nuestros productos tienen una vida útil superior al 40% en comparación con los productos tradicionales. Las tecnologías especiales de refuerzo de bordes y revestimiento de superficies permiten que nuestros productos resistan operaciones frecuentes de sujeción y limpieza. Se garantiza que los productos a base de alúmina funcionarán más de 200 000 veces, mientras que los productos a base de carburo de silicio pueden alcanzar más de 500 000 ciclos, lo que reduce significativamente los costos operativos para nuestros clientes.

● Aval de verificación de cadena ecológica

El mandril de vacío cerámico Veteksemicon para la verificación de la cadena ecológica de obleas abarca desde las materias primas hasta la producción, ha pasado la certificación estándar internacional y tiene una serie de tecnologías patentadas para garantizar su confiabilidad y sostenibilidad en los campos de semiconductores y nuevas energías.

Para especificaciones técnicas detalladas, documentos técnicos o arreglos de prueba de muestra, por favorpóngase en contacto con nuestro equipo de soporte técnicopara explorar cómo Veteksemicon puede mejorar la eficiencia de su proceso.