Partidario de epi

Vetek Semiconductor es un líder profesional China EPI realizado, Tugor planetario ALD y fabricante de soporte de grafito recubierto de TAC. y Nuestro soporte de EPI es un componente importante decrecimiento epitaxialEn el proceso de fabricación de semiconductores. Su función principal es soportar y calentar la oblea para que una capa epitaxial de alta calidad pueda cultivarse uniformemente en la superficie de la oblea.

Los susceptores EPI de los semiconductores de Vetek generalmente están hechos de grafito de alta pureza y recubiertos con una capa de carburo de silicio (SIC).Este diseño tiene las siguientes ventajas clave:

● Estabilidad de alta temperatura: El susceptor EPI puede permanecer estable en un entorno de alta temperatura, asegurando el crecimiento uniforme de la capa epitaxial.

● Resistencia a la corrosión: El recubrimiento SIC tiene una excelente resistencia a la corrosión y puede resistir la erosión de los gases químicos, extendiendo la vida útil de la bandeja.

● Conductividad térmica: La alta conductividad térmica del material SiC garantiza la distribución uniforme de la temperatura de la oblea durante el calentamiento, mejorando así la calidad de la capa epitaxial.

● Coeficiente de expansión térmica Coeficiente: El coeficiente de expansión térmica de SIC es similar al del grafito, evitando el problema del desprendimiento de recubrimiento debido a la expansión y contracción térmica.

Propiedades físicas básicas deRecubrimiento sic cvd:

Tienda de producción de recubrimiento SIC CVD:

Descripción general de la cadena industrial de epitaxia de chip de semiconductores: