Susceptor recubierto de carburo de tantalio (TaC) CVD

Características clave

Aplicaciones

Las aplicaciones típicas incluyen:

• Crecimiento epitaxial de SiC

• Epitaxia GaN MOCVD

• Crecimiento epitaxial de AlN

• Fabricación de semiconductores de tercera generación

• Electrónica de alta potencia

• Dispositivos de radiofrecuencia

• Producción de MicroLED

• Investigación y Sistemas Piloto de Producción

Equipos compatibles

Las plataformas compatibles incluyen:

• Aixtrón

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• Reactores CVD y MOCVD personalizados

También disponible:

• Portadores de obleas

• Susceptores planetarios

• Susceptores de barril

• Discos de rotación

• Piezas de media luna

• Placas de cubierta

• Conjuntos de grafito

• Componentes de campo térmico personalizados

Especificaciones técnicas

Preguntas frecuentes

1. ¿Qué es un susceptor recubierto de CVD TaC?

Un componente de grafito de alta pureza protegido por un denso recubrimiento CVD TaC utilizado como portador de oblea durante el crecimiento epitaxial.

2. ¿Por qué utilizar TaC coa?¿Ting en lugar de revestimiento de SiC?

TaC ofrece una mayor resistencia a la temperatura, una estabilidad química superior y una vida útil más larga.

3.¿Qué procesos de semiconductores utilizan TaC-c?susceptores activos?

Epitaxia de SiC, MOCVD de GaN, epitaxia de AlN y otros procesos de crecimiento de cristales a alta temperatura.

4. ¿VETEK puede fabricar susceptores personalizados?

Sí. Ofrecemos diseños personalizados basados ​​en los dibujos del cliente y los requisitos del proceso.

5. ¿Qué marcas de reactores son compatibles?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare y otros sistemas convencionales.